| 我国半导体工业用高纯金属有机化合物前体材料(MO源)实现产业化 | |
2007-10-10 16:28:21 科技部网站 行业分类:其它 浏览 | |
在国家863计划的持续支持下，我国MO源的研究和产业化取得了可喜成绩，在产品设计、合成制备、纯化技术、测试方法和封装容器等方面的研究水平不断提高，目前已开发出20多个MO源品种，其纯度达到99.999%-99.99995%，部分品种的研制技术进入世界领先行列，并实现了产业化。主要进展情况如下： 1．研制技术不断向高的层次发展，尤其是先进的配合物纯化技术在MO源纯化过程中的成功应用，大大提升了MO源的品质。 2．完成了第一条纯度为99.9999%的高纯三甲基镓生产线，年生产能力达到500公斤，产品的高质量得到用户充分肯定，产品占有国内（大陆）市场的近70%，同时，已销往台湾地区和韩国、日本等国家。 3．正在建设第二条年产2000Kg的高纯三甲基镓生产线；完善建设年产300公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铟生产线；建设第一条年产300公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铝生产线。建成的生产线实现产销后，能满足目前国际市场有关产品需求量的40%左右。 4．世界最大的MO源研究生产基地英国的Epichem公司，经过对南大光电高纯三甲基铟的严格考察，已经正式向南大光电订货。同时，高纯三甲基铟产品也已经经过德国著名的Osram公司的考核，开始正式供货。 国家863计划从1986年启动之初就支持开展MO源预研工作，经过二十多年持续扶持，在南京大学等项目承担单位的共同努力下，1997年科技部(原国家科委)批准依托南京大学建立国家863计划新材料MO源研究开发中心，“十五”期间MO源部分产品进入产业化实施阶段，以高纯三甲基镓、高纯三甲基铝、高纯三甲基铟和高纯二茂镁四个品种的知识产权作价入股，在苏州工业园区国际科技园成立“江苏南大广电材料股份有限公司”（以下简称南大光电），开始着手实施这四个品种的扩产试验工作，尤其是高纯三甲基铟和高纯三甲基铝的产业化。南京大学、南大光电和河北汇能电力电子有限公司还共同承担了“十一五”国家863计划“半导体照明工程”重大项目的“高纯(6.5N)铝源、铟源生产工艺及其分析方法的研究”课题。2006年底，上海同华创业投资管理有限公司注入资金1000万元，江苏省科技厅风险创业投资配套资助500万元，共同参与二期工程建设。 MO源即高纯金属有机化合物前体材料是MOCVD(有机金属化学气相沉积)技术生长化合物半导体材料的支撑材料。MO源的品种及质量与MOCVD技术的进步直接相关。作为MO源的高纯金属有机化合物必须具有合适的结构、合适的蒸汽压、合适的分解温度和很高的纯度，一般商用产品的纯度要求在99.9999%以上。 | |
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