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| AIXTRON G4 系统及Yield+ 更新令璨圆产能提高一倍 | |
| 时间:2007-12-5 16:19:25 来源:中国半导体照明网译 作者: 浏览 | |
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2007年12月4日，AIXTRON宣布获得璨圆光电几台AIX 2800G4 MOCVD的订单。璨圆还订购了良品率提升包（Yield+ package）来为现有的系统升级。订购加升级的结合将使璨圆的高性能GaN外延片、芯片及超高亮LED芯片相关产品的制造能力提高一倍。 璨圆对AIXTRON系统的性能非常满意，而使用新Yield+ package甚至还能提高产出。因此当璨圆计划再订购已含Yield+ package的新G4系统时，同时还将现有的反应室升级到相同处理性能。 Yield+ package以改善的耐用性和再现性为特性，这些特征确保了更高的产出、良品率以衣更低的成本/晶片（更高的LED性能）。由于拥有有效的冷却进气口（可将预反应降到最小）及三气体喷射器（可提供放大的一系列调整参数），Yield+ package可提供更好的波长一致性调整。 | |
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