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| Nanometrics VerteX推出绿光LED波长扫描仪 | |
| 时间:2006-10-25 22:12:52 来源:中国半导体照明网 作者: 浏览 | |
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2006年10月23日，在完成收购 Accent Optical Technologies（镀层及薄膜测量、加工控制系统供应商）后，Nanometrics（领先的集成和独立测量设备供应商）公司首次推出量产中控制化合物半导体生产的VerteX 快速PL（光致发光）谱扫描成像仪，这也是第一款可精确预测晶圆级绿光LED波长的自动化成像仪。 随着外延材料产量增加、限度变窄，客户们对测量工具的要求不公仅是提供精确的测量，还包括缩短达成良品率所用时间必需的处理数据，而VerteX可满足客户的这些需要。 VerteX通过对激光激发情况的高级控制使PL数据与电致发光（EL）测试信息精确匹配，提升了批次外延层生长的回馈速度，从而可对LED（尤其是绿光LED）的量产进行精确预测。传统绿光LED波光的测量是在加工完晶圆后对其进行电气测量，但VerteX却可在晶圆加工前预言LED的性能，为外延片生产工艺优化控制提供了关键数据反馈。除了LED，VerteX还适用于多种光电子材料（如高密度DVD和蓝光光碟用UV激光二极管）的制备过程。 VerteX的推出使Nanometrics的晶圆检测系统家族（包括行标RPM2000、台式PL成像系统）得到进一步完善，成为公司闭环APC（先进过程控制）的又一重要组成，使客户可预知测量战略的实施成为可能。 | |
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