‹
  Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷ÍøÊ×Ò³ > ssl2009ֱͨ³µ > ÂÛ̳ > ÕýÎÄ
¶Ô»°Aixtron AG£º×¢ÖØÌá¸ß²úƷЧÂÊ ÌáÉýÆ·ÅƼÛÖµ
  Ê±¼ä:2009-11-10  14:21:53    À´Ô´:Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Íø    ×÷Õß:ÕÅÜç  ä¯ÀÀ
¡¾×ÖÌ壺´ó ÖРС ¼ò ·±¡¿¡¾Êղء¿¡¾¹Ø±Õ¡¿

¡¡¡¡µÂ¹ú°®Ë¼Ç¿¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾£¨Aixtron AG£©ÊÇÄ¿Ç°È«Çò¹æÄ£×î´óºÍÊг¡Õ¼ÓÐÂÊ×î¸ßµÄ»¯ºÏÎï°ëµ¼ÌåÍâÑÓÉ豸¹©Ó¦ÉÌ£¬Aixtron AGÖÆÔìµÄÉú²úÐͺÍÑз¢ÐÍMOCVDÉ豸Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚÉú²ú¸ßµç×ÓǨÒÆÂʾ§Ìå¹Ü¡¢ÒìÖÊÐÔË«¼«¾§Ìå¹Ü¡¢³¬¸ßÁÁ¶È·¢¹â¶þ¼«¹Ü(°üÀ¨À¶¹âºÍÂ̹â)¡¢¼¤¹â¶þ¼«¹Ü¡¢¹âÊý¾Ý´«ÊäÔª¼þÒÔ¼°¿Õ¼äÌ«ÑôÄܵç³ØµÈ¡£

¡¡¡¡Aixtron AGµÄÖ÷Òª¼¼ÊõÓ¦ÓÃÔÚÁ½¸ö·½Ã棺¹âµç×ÓºÍ΢µç×Ó¡£ÔÚ¹âµç×ÓÁìÓòÀÓз¢¹â¶þ¼«¹ÜºÍ¼¤¹â¶þ¼«¹Ü¡£·¢¹â¶þ¼«¹ÜÖ÷ÒªÓÃ×÷°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷¼°´óÆÁÄ»ÏÔʾµÈ£¬Ëü¸ø°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷¼¼Êõ´øÀ´Á˸ïÃüÐԵıä¸ï¡£¶ø¼¤¹â¶þ¼«¹ÜÖ÷ÒªÓÃÔÚ¶¨Ïò¡¢Ò½ÁÆ¡¢DVD¹â´æ´¢·½Ã档΢µç×ÓÁìÓòÖ÷ÒªÊǸßΡ¢¸ßƵºÍ´ó¹¦ÂʵȲÄÁÏ£¬¿ÉÒÔÓÃÔÚ½»Í¨ÔËÊ䡢ʯÓÍ×ê̽¡¢¿Õ¼ä̽Ë÷µÈ·½Ãæ¡£Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷ÍøµÄ¼ÇÕßÔÚµÚÁù½ìÖйú¹ú¼Ê°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Õ¹ôßÂÛ̳£¨CHINA SSL 2009£©Æڼ䣬¾Í°®Ë¼Ç¿MOCVD¼¼ÊõËùÈ¡µÃµÄ×îнøÕ¹ÒÔ¼°Î´À´¼¼Êõ·¢Õ¹Ç÷ÊƵȣ¬²É·ÃÁËAixtron AG¹«Ë¾µÄÑз¢¸±×ܲÃMichael HeukenÏÈÉú¡£

Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Íø£º´Ó½µµÍ³É±¾µÄ½Ç¶È¿¼ÂÇ£¬ÇëÎÊ°®Ë¼Ç¿Î´À´É豸µÄÖ÷Á÷·½ÏòÈçºÎ£¿ÊÇÏò´ó³ß´ç³Äµ×·½Ïò·¢Õ¹»¹ÊÇÏò¶àƬʽ³Äµ×·½Ïò·¢Õ¹? 

Michael Heuken£ºÄ¿Ç°¶ÔÓÚLEDÖÆÔìÀ´Ëµ£¬×îÃ÷ÏԵĹؼüÐÔÌôÕ½ÒÀÈ»ÊǽµµÍÿÁ÷Ã÷µÄ³É±¾¡¢Ìá¸ßLEDµÄЧÂÊ¡£¶øLEDµÄ³É±¾Òª´ÓÕû¸öÊÙÃüÀ´ºâÁ¿£¬´Óÿ¸öÉ豸ʹÓÃÇé¿öÀ´¿´£¬²»¹ÜÔõÑù£¬ÎÒÃÇ»áÓø÷ÖÖ¿ÉÄÜÐÔÈ¥½µµÍLEDµÄ³É±¾,ÆäÖаüÀ¨£ºÍâÑÓƬ³É±¾ºÍ·â×°³É±¾£¬¶øÉ豸ºÍ·â×°·ÑÓûáºÜ¸ß£¬¾ÍÕû¸ö³É±¾¶øÑÔ£¬ÍâÑÓƬµÄ³É±¾Ïà¶ÔÀ´Ëµ»¹Êǽϵ͵ģ¬Ö»Õ¼ºÜСµÄÒ»²¿·Ö¡£Í¬Ê±£¬ÎÒÃÇ»¹»á°ïÖúLEDÉú²úÉÌÀ´½µµÍ³É±¾¡£´ÓÕû¸ö²ßÂÔÀ´¿´£¬ÎÒÃǵÄÑз¢·½Ïòµ±È»»¹ÊÇ´ó³ß´çµÄÍâÑÓƬ£¬Ò²ÓжàƬʽµÄ¡£

¡¡¡¡´ËÍ⣬ÎÒÔÚÎÒµÄÑݽ²ÖÐÔøÌáµ½ÒªÌá¸ßËüµÄËٶȣ¬¶øÇÒÒªÓÅ»¯Õâ¸ö³ÌÐò¡£¹¤³Ìʦ±ØÐëÀí½âÕû¸öÁ÷³Ì¡¢Õû¸ö¹¤ÒÕ£¬²ÅÄÜ×öµ½ÓÅ»¯¹¤ÒÕ¡£ÎÒÃǹ«Ë¾»ìºÏÁË´ó³ß´çºÍ¶àƬʽµÄMOCVDÉ豸£¬²¢ÇÒLEDÉ豸ÁìÓòµÄÊг¡Õ¼ÓÐÂÊÒѸߴï70%£¬ÎÒÃÇÊÇÊÀ½çÉÏ×î´óµÄMOCVDÉ豸¹©Ó¦ÉÌ£¬ÎÒÃÇÓкܴóµÄÑз¢ÖÐÐÄ£¬Òò´Ë£¬ÎÒÃÇÒ²ÔÚÏ뾡¸÷ÖÖ·½Ê½À´½µµÍLEDµÄ³É±¾£¬ÓµÓгɱ¾ÊÜÖÆÔì¼¼ÊõµÄÓ°ÏìºÜ´ó£¬¶øMOCVDÔòÊÇLEDÖÆÔìÖзdz£¹Ø¼üµÄ¹¤ÒÕ£¬ËüÒ²×óÓÒ×ÅËùÐèµÄ³É±¾Ëõ¼õ¼Æ»®¡£¸ÄÉÆÓµÓгɱ¾ºÜ´ó³Ì¶ÈÉÏ¿ÉÒÔͨ¹ýÌá¸ß²úÄÜ¡¢ÌáÉý³ÉÆ·ÂʺÍÒ»ÖÂÐÔ£¬ÒÔ¼°Ìá¸ß¹¤ÒÕЧÂÊÀ´ÊµÏÖ¡£

Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Íø£ºÇëÄú̸һ̸ĿǰMOCVD¼¼ÊõËùÈ¡µÃµÄ×îнøÕ¹£¿

Michael Heuken£ºÎÒÃǹ«Ë¾µÄMOCVDϵͳÖ÷Òª»ùÓÚÁ½¸ö¶ÀÌؼ¼Êõ£ºPlanetary Reactor® ºÍClose Coupled Showerhead® (CCS®)£¬Á½ÖÖϵͳ¶¼ÌṩÁ˺ܸߵÄÍÌÍÂÂÊ¡¢×¿Ô½µÄÒ»ÖÂÐԺ͹¤ÒÕÖظ´ÄÜÁ¦£¬¿ÉʵÏָ߳ÉÆ·Âʺ͸ßÓµÓгɱ¾µÄ»ñÀûÄÜÁ¦¡£ÕâÁ½ÖÖ¼¼Êõ¶¼¿ÉÒÔÔÚͨÓÃƽ̨ÉÏʵÏÖ£¬¸øÓû§´øÀ´Á˸ü¸ßµÄÁé»îÐԺͿÉÀ©Õ¹ÐÔ£¬ÕâÒ²ÊǹؼüµÄÄ¿±êºÍÒòËØ¡£ÎÒÃǹ«Ë¾µÄMOCVDϵͳ¾ßÓжàÖֳߴ羧ԲµÄ¹¤ÒÕ´¦ÀíÄÜÁ¦£¬´Ó2´ç¡¢ 3´ç¡¢ 4´ç¡¢ 6´ç¡¢ 8´ç£¬ÉõÖÁµ½12´ç£¬¶¼Äܹ»Âú×ã¿Í»§²»¶ÏµØ×·Çó½µµÍÖÆÔì³É±¾µÄÐèÇó¡£

¡¡¡¡´ËÍ⣬ÎÒÃÇÔÚÆäËûһЩ¼«¾ßÎüÒýÁ¦µÄÐÂÐ˼¼ÊõÉÏÒ²Õ¼¾ÝÒ»¶¨µØλ¡£ÒÔOVPD£¨ÓлúÎïÆøÏà³Á»ý£©¼¼ÊõΪÀý£¬Ò»µ©Ò»Ð©¹Ø¼üµÄÐÔÄÜÖ¸±êÈç·¢¹âЧÂʺÍÊÙÃü¿ÉÒÔʵÏÖ£¬OLEDÔ¤¼Æ½«ÔÚδÀ´µÄ¹Ì̬ÕÕÃ÷ÁìÓò°çÑÝÖØÒª½ÇÉ«¡£

Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Íø£ºÔÚм¼ÊõµÄ¿ª·¢ÉÏ£¬ÇëÎÊ°®Ë¼Ç¿Î´À´µÄÑз¢²ßÂÔ½«»áÊÇÈçºÎ£¿»òÕß˵»á×ÅÖØ¿¼ÂÇÄÄЩÒòËØ£¿

Michael Heuken£ºÌ¸µ½Ð¼¼ÊõµÄ¿ª·¢£¬ÎÒÃǹ«Ë¾µÄÑз¢²ßÂÔ½«»á½ôÃܸúËæδÀ´Êг¡ÐèÇ󣬽«Ô¤Æڵļ¼ÊõÐèÇóת»¯ÎªMOCVDÑз¢ÍŶӵļ¼ÊõÄ¿±ê¡£Õâ¾ÍÒâζ×ÅÎÒÃÇÐèÒª»¨·Ñ´óÁ¿µÄʱ¼äÀ´·ÖÎöºÍÔ¤²âÏÂÒ»´úLEDÓ¦ÓõÄÒªÇó£¬ÈçLCDÃæ°å±³¹âÔ´»ò¸ü³¤¾ÃµÄ¹Ì̬ÕÕÃ÷¡£Ä¿Ç°£¬ÎÒÃÇËù¿ª·¢ÏîÄ¿µÄºËÐÄÊÇ£ºÌá¸ßÉú²úÁ¦¡¢ÖÊÁ¿ºÍ¸ÄÉƳɱ¾£¬Í¬Ê±£¬Äܹ»È·±£Îª¿Í»§ÌṩÁé»îµÄÇҸ߶ȿɿصÄÉ豸£¬°ïÖúËûÃÇ¿ª·¢ÈÕÒ澫ÃÜÇÒ¸´ÔÓµÄLED½á¹¹¡£

Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Íø£ºÇëÄú̸һ̸Ŀǰ°®Ë¼Ç¿ÔÚMOCVD¼¼ÊõÉÏËù¾ßÓеÄ×î´ó¾ºÕùÓÅÊÆ£¿

Michael Heuken£ºÊ×ÏÈ£¬ÎÒÃǵĺËÐľºÕùÁ¦ºÍʵÁ¦ÔÚÓÚÎÒÃÇÄܹ»Ìṩ¸´ÔÓÆøÏà³Á»ý¹¤ÒÕËùÐèµÄ¼¼ÊõºÍÉ豸£¬¶ÔÓÚ¸÷¸ö²»Í¬µÄÖÕ¶ËÊг¡£¬ÎÒÃÇ»á²ÉÓò»Í¬µÄÕ½ÂÔ¡¢²îÒ컯ºÍ²»Í¬³ÉÊì¶ÈµÄ¼¼Êõ¡£

¡¡¡¡Æä´Î£¬ÎÒÃÇÓгä×ãµÄ²úÄÜÉ豸À´Âú×ãÃæ¶ÔÏֽ׶ÎMOCVDÅÓ´óµÄÊг¡ÐèÇó¡£LEDÊг¡Õý±äµÃ¸ü¼Ó³ÉÊ죬Òò´Ë£¬ÎÒÃÇÓú¼ÓÖØÊӳɱ¾ºÍÉú²úÁ¦µÄ¸Ä½ø¡£Ëæ×Å×î³õµÄ¼¼ÊõÕÏ°­±»Öð²½Ïû³ý£¬ÎÒÃǵIJúÒµ½¹µãÒ²ÏàӦתÒƵ½³É±¾ÓëÉú²úÁ¦ÉÏ¡£

¡¡¡¡´ËÍ⣬ÎÒÃÇ»¹ÖÂÁ¦ÓÚÁ˽â¿Í»§ÐèÇ󣬲¢»ý¼«·ÖÎöδÀ´Êг¡Ç÷ÊÆ£¬ÒÔ´ËÀ´¹®¹ÌÎÒÃÇÊÀ½çµÚÒ»µÄÁìµ¼³§É̵Øλ¡£

Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Íø£ºÇëÎÊ°®Ë¼Ç¿ÈçºÎ¿´´ýÖйúLEDÊг¡Ç°¾°£¿»òÕß˵δÀ´ÔÚÖйúLEDÊг¡½«»áÓÐÄÄЩ¶¯×÷£¿

Michael Heuken£ºÄ¿Ç°£¬¿ÉÒÔ˵ÊÇÀ©´óLED²úÒµµÄ¾øºÃ»ú»á£¬ÖйúºĮ́ÍåÊǷdz£ÖØÒªµÄÊг¡£¬LED²úÒµµÄ·¢Õ¹¶Ô¹ú¼Ò¡¢¹«Öںͻ·¾³¶¼·Ç³£ÖØÒª¡£ÔÚ´´ÔìÀûÈóµÄͬʱ£¬Ò²¿ÉΪ¹«ÖÚ´øÀ´ºÃ´¦¡£LED²»µ«ÊÇÂÌÉ«½ÚÄܲúÆ·£¬¶øÇÒ»¹¿ÉÒÔÔÚÕâ¸öÁìÓò´´Ôì·áºñµÄÀûÈó¡£Òò´Ë£¬ÔÚÕâ¸öÖØҪʱÆÚ£¬ÖйúÓбØÒª·¢Õ¹LED¼¼Êõ¡£

¡¡¡¡»Ø¹Ë¹ýÈ¥¼¸Ä꣬Aixtron²»¶ÏÉîÈëÖйúÊг¡¡£ÎÒÃÇÒѾ­ÊÜÑû³ÉΪ¹ú¼Ò°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷¹¤³ÌÑз¢¼°²úÒµÁªÃË£¨CSA£©µÄ¿Í×ùµ¥Î»£¬²ÎÓë¹Ì̬ÕÕÃ÷¼¼ÊõµÄ¿ª·¢£¬²¢ÌáÉýÁ˾ºÕùÁ¦¡£ÔçÔÚ90Äê´ú£¬ÎÒÃǾÍÒѾ­¿ªÊ¼ÔÚÖйú¿ªÍØÊг¡£¬¶àÄêÀ´Òµ¼¨Ò»Ö±ÎȹÌÔö³¤¡£³ýÁ˳¤ÆÚµÄÉÌÒµ»î¶¯Í⣬ÎÒÃÇ»¹»áΪ¹úÄÚÑз¢Ð­»áÌṩǿÓÐÁ¦µÄÖ§³Ö£¬Aixtron¹ýÈ¥¼¸ÄêÒ»Ö±ÔÚÖйú¹ú¼Ê°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Õ¹ÀÀ»áôßÂÛ̳£¨CHINA SSL£©ÆÚ¼ä¾Ù°ìMOCVD¼¼ÊõÑÐÌֻᣬ½«¹«Ë¾µÄм¼Êõ´ø¸ø¹úÄڵĹ«Ë¾¡£ÎÒÏàÐÅ£¬Î´À´µÄÎÒÃÇ»¹½«¼ÌÐø²¢²ÎÓëµ½¸ü¶àµÄ¼¼Êõ»î¶¯ÖÐÈ¥£¬ÎªÖйú´øÀ´¸ü¶àµÄм¼ÊõÓëÐÂÀíÄ½øÒ»²½´Ù½ø¹Ì̬ÕÕÃ÷²úÒµ½¡¿µ¡¢ÎȲ½·¢Õ¹¡£


Ò³Ã湦ÄÜ:¡¾·¢±í/²é¿´ ÆÀÂÛ¡¿¡¾ÍƼö¡¿¡¾×ÖÌå:´ó ÖРС ¼ò ·±¡¿¡¾´òÓ¡¡¿¡¾Êղء¿¡¾ä¯ÀÀ:¡¿¡¾¹Ø±Õ¡¿
‹