Prof.Dr.M.HeukenÔÚÑݽ²
¡¡¡¡Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷²úÒµµÄÅ·¢Õ¹£¬´øÍúÏà¹ØÉ豸µÄÐèÇ󡣵¹ú°®Ë¼Ç¿(AIXTRON)¹«Ë¾Ä¿Ç°MOCVD É豸ÖÆÔìÉÌÖ®Ò»£¬´ó³ß´çºÍ¶àƬʽµÄMOCVDÉ豸£¬ÔÚLEDÉ豸ÁìÓòµÄÊг¡Õ¼ÓÐÂÊÒѸߴï70%¡£°®Ë¼Ç¿(AIXTRON)MOCVDϵͳÖ÷Òª»ùÓÚÁ½¸ö¶ÀÌؼ¼Êõ£ºPlanetary Reactor® ºÍClose Coupled Showerhead® (CCS®) ¡£
¡¡¡¡¾Ýͳ¼Æ£¬ÓÉÓÚTV±³¹âºÍͨÓÃÕÕÃ÷Êг¡µÄÆô¶¯£¬¼Ó´óÁ˸ßÁÁ¶ÈLEDµÄÐèÇó£¬LEDµçÊÓÊг¡Éø͸ÂʼÓËÙÌáÉý£¬2010ÄêÓÐÍû´ïµ½20£¥-30£¥¡£LEDÕÕÃ÷Ó¦ÓÃÒѾ´Ó¹ýÈ¥»§ÍâLED·µÆ×ßÏòÊÒÄÚÕÕÃ÷Ó¦Óã¬LEDÕÕÃ÷ÉÌ»úΪҵ½ç´øÀ´ÎÞÇîÏëÏó¿Õ¼ä¡£ÊÜ´ËÓ°Ï죬 2010ÄêÖйú´ó½Êг¡¶ÔMOCVDÐèÇóÓÐÍû´ï230̨£¬Õ¼È«ÇòÕûÌåÊг¡·Ý¶îµÄ23%£¬Michael HeukenÊ×ÏȶÔδÀ´µÄ°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Êг¡½øÐÐÁËÔ¤²â£¬ËûÈÏΪ´Ó2009Äêµ½2014Ä꣬°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Êг¡½«»á±£³ÖÄêÔö³¤ÂÊ31%µÄËٶȣ¬Õ⽫´ó´óÍƶ¯°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹¡£
AIXTRONÔ¤²âδÀ´TVÊг¡Ç÷ÊÆ
AIXTRONÔ¤²âδÀ´HB LEDÊг¡Ç÷ÊÆ
AIXTRONÔ¤²âδÀ´°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷Êг¡Ç÷ÊÆ
¡¡¡¡°®Ë¼Ç¿(AIXTRON)ÈÏΪδÀ´MOCVDÉ豸¿ª·¢µÄÇ÷Êƽ«Î§ÈÆÈçºÎÌá¸ßÉ豸Îȶ¨ÐÔ¡¢Ìá¸ß²úÆ·Á¼ÂÊ¡¢½µµÍ²ÄÁÏʹÓÃÁ¿µÈ·½Ãæ½øÐÐÉè¼Æ¡£¾ßÌåÀ´¿´£¬Ö÷ҪΪÒÔϼ¸¸ö·½Ã棺´ÓÌá¸ß²úÆ·Á¼Âʼ°²úÄÜÁ½·½Ãæͬʱ×ÅÊÖ½µµÍÍâÑӳɱ¾£»Ìá¸ß»ų́Îȶ¨ÐÔ£»ÔÚÔö¼Ó²úÄܵÄͬʱ£¬¼õÉÙÈ˹¤²Ù×÷£¬ÈËΪ¸ÉÔ¤£»¿ª·¢½µµÍ³É±¾£¬À©´ó²úÄܵÄͬʱ¿É¼õÉÙMOÔ´µÄʹÓÃÁ¿µÄ²úÆ·£»¿ª·¢¶àǻʽÍâÑÓ¯µÈ¡£
¡¡¡¡×ÅÑÛÓÚδÀ´LEDÐèÇ󽫴ó·ùÔö³¤£¬°®Ë¼Ç¿ÒÑ¿ª·¢³ö8…¼MOCVD»ų́£¬ÐÖú¿Í»§½µµÍÉú²ú³É±¾¡¢ÌáÉýЧÂÊÓëÀ©³ä²úÄÜ¡£ÉíΪÓлú½ðÊôÎﻯѧÆøÏà³Á»ý(MOCVD)»ų́´ó³§£¬Aixtron±íʾÑз¢²»¶Ï´´ÐÂÒ²ºÜÖØÒª£¬ÎªÅäºÏLEDÒ»°ãÕÕÃ÷Êг¡ÐèÇó£¬ÐÖú½µµÍLEDоƬÖÆÔìÉ̵ijɱ¾¡£AixtronͶ×ʽ¨ÉèÑз¢ÖÐÐĵÚ1ÆÚÓªÔËÔ¤¼ÆƸ¹Í350ÃûÑо¿ÈËÔ±£¬´ó·ùÔö¼ÓÔÀíÐÍÉ豸(prototype)µÄÑз¢ÄÜÁ¦¡£Í¬Ñù£¬AixtronÈÏΪÖйúÒ²ÆÈÇÐÐèÒªÁªºÏÍâ·½Ð˽¨Ò»¸öMOCVDµÄÑз¢ÖÐÐÄ¡£
¡¤MOCVDδÀ´ÔÚLEDÓ¦ÓÃÖÐм¼ÊõÇ÷ÊÆ 2010-10-14 |
¡¤ÐÂÊÀ¼Í¹âµçÔÚÀ¥É½ºÏ×Êг§ Ê×Æڹ滮50̨MOCVD 2010-9-25 |
¡¤MOCVD¼¤ÔöÒý·¢LED²úÒµ·çÏÕ¡¡Ó²¼þÉ豸´ýÍ»ÆÆ 2010-9-15 |
¡¤1200̨MOCVDµÄ¹æ»®Òý·¢µÄ˼¿¼ 2010-9-10 |
¡¤Ð¾Æ¬ÉÏÓÎMOCVD»úÆæ»õ¿É¾Ó 2010-9-9 |
¡¤Veeco¸ß¼¶¼¼Êõ¹¤³ÌʦJames Pratt£ºMOCVDÉ豸µÄ·¢Õ¹Ç÷ÊÆ 2010-9-9 |
¡¤Ê¿À¼Î¢MOCVDÉ豸²É¹º½«»ñËijɲ¹Ìù 2010-9-2 |
¡¤2011Äêµ×È«ÇòMOCVDÉ豸ÊýÁ¿ÓÐÍû´ï2500̨ 2010-8-27 |