| 李刚：一种新型外延炉的设计与制造 | |
2010-10-21 11:16:41 中国半导体照明网 王涛 行业分类:其它 浏览 | |
| |
2010年10月16日，第七届中国国际半导体照明论坛“材料与装备技术”分会，来自上海永胜半导体设备有限公司总经理李刚与参会嘉宾共同分享了商用外延炉的设计和制造计划。 李刚认为现在的商用外延炉为满足不同的应用，外延炉设计的越来越复杂，整机中有许多部件和功能毫无使用价值，造成很大的浪费。 用“无须猜测开启即用”的工业化设备标准衡量，目前的外延炉仍然是研发型设备，不适应大规模生产的需求。因为受气相反应技术限制，复杂的衬底载盘和上盖结构己限制了炉体尺寸的扩大和外延质量的提升。 李刚介绍的新型外延炉环形气体导入装置，以由外向内径向气流实现耗尽效应自补偿，在无须旋转衬底载盘条件下达到均匀外延生长。用环形气体导入装置，反应室上盖无任何气体输入装置，每次生长后反应室上盖可以进行简单彻底的清洗，确保外延过程的重复性、再现性和一致性。气体扩散板装置提供垂直气流，使不同反应剂能沿不同方向输入，并在衬底表面附近混合，杜绝气相反应的发生。中央支柱确保上盖不变形。 李刚介绍的新一代外延炉的单炉产能达到65片，能放大到96片，128片和188片。 | |
相关阅读：
标签:LED,MOCVD,设备,chinassl
| ·MOCVD技术当前的趋势与未来前景 2010-10-17 |
| ·中国本土LED生产设备MOCVD即将亮相第76届中国电子展 2010-10-17 |
| ·MOCVD未来在LED应用中新技术趋势 2010-10-14 |
| ·同方选中AIXTRON MOCVD欲扩大高亮LED产量 2010-10-14 |
| ·MOCVD未来在LED应用中新技术趋势 2010-10-14 |
| ·MOCVD未来在LED应用中新技术趋势 2010-10-14 |
| ·新世纪光电在昆山合资新厂 首期规划50台MOCVD 2010-9-25 |
| ·MOCVD激增引发LED产业风险 硬件设备待突破 2010-9-15 |
标签:LED,MOCVD,设备,chinassl