ר·ÃÖйúΨһMOÔ´×ÔÖ÷¹©Ó¦É̽ËÕÄÏ´ó¹âµç | |
2010-11-26 10:58:18 LEDinside ÐÐÒµ:ÆäËü ä¯ÀÀ | |
| |
¡¡¡¡2010ÄêLED²úÒµÓÉÓÚLED±³¹âµçÊÓ´ø¶¯²úÒµÐèÇó£¬Ðí¶àLEDоƬ³§´ó·ù¶ÈÀ©³äMOCVD²úÄÜ£¬µ¼ÖÂÉÏÓεIJÄÁÏ£¬ÈçÀ¶±¦Ê¯³Äµ×ÓëMO SourceµÈ³öÏÖȱ»õ×´¿ö¡£ ¡¡¡¡¶ø½üÈÕLEDinsideÓÐÐÒ°Ý·ÃÖйúΨһרÃÅÉú²úMO SourceµÄ²ÄÁϹ©Ó¦ÉÌ£¬½ËÕÄÏ´ó¹âµç²ÄÁϹɷÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ÂÀ±¦Ô´¸±×ܲá£Í¸¹ýÂÀ¸±×ܽéÉÜÏֽ׶ÎMO Source²úÒµ·¢Õ¹ÏÖ¿ö£¬ÒÔ¼°2011ÄêµÄ¹©Ðè״̬¡£ ¡¡¡¡½ËÕÄÏ´ó¹âµç£¬¾ßÓÐ×ÔÖ÷¼¼ÊõÓëרÀûµÄMOÔ´¹©Ó¦ÉÌ ¡¡¡¡½ËÕÄÏ´ó¹âµç²ÄÁϹɷÝÓÐÏÞ¹«Ë¾³ÉÁ¢ÓÚ2000Äê12Ô£¬×¨Òµ»¯Éú²úÓµÓÐ×ÔÖ÷Öǻ۲ƲúȨµÄ¸ß´¿½ðÊôÓлú»¯ºÏÎMOÔ´£©¡£¹«Ë¾¼¼Êõ³õʼÀ´Ô´ÓÚÄϾ©´óѧ¡°¹ú¼Ò863¼Æ»Ð²ÄÁÏMOÔ´Ñо¿¿ª·¢ÖÐÐÄ¡±£¬×¨°¸Á¥ÊôÓÚÖйú¹ú¼Ò863¼Æ»¡£¾¹ýÁËÊ®ÄêµÄŬÁ¦£¬¸ÃÏîÄ¿ÒѾ¿ª»¨½á¹û£¬²»½öÄÜΪÖйúLED²úÒµÌṩ×ÔÖ÷µÄMO Source²ÄÁÏ£¬»¹½øÒ»²½ÍâÏúÖÁ¶«ÑÇ£¨Ì¨Íå¡¢º«¹úºÍÈÕ±¾£©¡¢Å·ÖÞ¡¢ÃÀ¹úµÈ¹ú¼ÊÊг¡¡£ ¡¡¡¡MOÔ´Éú²úÁ÷³ÌÓë½øÈëÃż÷ ¡¡¡¡ÂÀ¸±×ÜÏêϸ½éÉÜÁ˹«Ë¾µÄÖ÷Òª²úÆ·¡ªMO Source£¬ÆäÈ«³ÆΪmetal organic source£¬¼´½ðÊôÓлúÔ´£¬ÊÇÊÊÓÚ½ðÊôÓлú»¯ºÏÎﻯѧÆøÏà³Á»ý(MOCVD)¼¼ÊõÓ¦ÓõÄÒ»Àà½ðÊôÓлú»¯ºÏÎ³£±»¼ò³ÆΪMOÔ´¡£ÆäÉú²ú¾¹ý5´óÁ÷³Ì£¬µÚÒ»²½ÊǺϳɻ¯ºÏÎÈ磺Èý¼×»ùïØTMGa£¬Èý¼×»ùî÷TMInµÈ£©£¬µÚ¶þ²½ÊÇ´¿»¯£¨Ìá¸ß´¿¶È£©£¬µÚÈý²½ÊǼìÑé·ÖÎö£¬Ö÷ÒªÊǼìÑéÆä´¿¶ÈÓëÔÓÖʺ¬Á¿£¬µÚËIJ½ÔòΪ¹à×°£¨¼ìÑéºÏ¸ñºó£©£¬×îºóÒ»²½¹à×°Íê³ÉºóÔٴμì²â£¬ÒòΪÄÏ´ó¹âµçÏà½ÏÓÚÆäËü³§É̸ü×¢ÖØÿһƿ²úÆ·µÄÆ·ÖÊ£¬¹ÊÊ®·ÖÖØÊÓÉú²ú¹ý³ÌÖеÄÕâÁ½´ó¼ìÑé¡£ ¡¡¡¡MO SourceµÄ´¿¶ÈÊÇÆä¸ßÆ·ÖʵĹؼü, Èç¹û´¿¶È²»¹»¡¢º¬ÑõÔÓÖÊÁ¿¸ß£¬¾Í»áµ¼ÖÂоƬ·¢¹âÇ¿¶È¼õÈõÉõÖÁ²»·¢¹â£¬ÓÐЩÔÓÖʻᵼÖ©µçÏÖÏó¡£Òò´Ë´¿»¯¼¼Êõ¾Í³ÉÁ˳§ÉÌÉú²úMO SourceµÄÖ÷ÒªÃż÷¡£½ËÕÄÏ´ó¹âµç¾¹ý³¤ÆÚŬÁ¦£¬Ä¿Ç°ÒѾ¿ÉÒÔ²úÒµ»¯Éú²úLEDÓÃËùÓеĸߴ¿MOÔ´£¬ÈçÈý¼×»ùïØ£¨TMGa£©¡¢Èý¼×»ùî÷£¨TMIn£©¡¢Èý¼×»ùÂÁ£¨TMAl£©¡¢ÈýÒÒ»ùïØ£¨TEGa£©ºÍ²ÎÔÓÓÃMOÔ´£¬Èç¶þïþ£¨CP2Mg£©¡¢¶þ¼×»ùп£¨DMZn£©¡¢¶þÒÒ»ùп£¨DEZn£©¡¢Èý¼×»ùÌࣨTMSb£©¡¢ÈýÒÒ»ùÌࣨTESb£©¡¢ËÄÂÈ»¯Ì¼£¨CCl4£©ºÍËÄä廯̼£¨CBr4£©µÈ£¬Æä´¿¶È´ïµ½6N~6.5N£¨99.9999%~99.99995%£©ÒÔÉÏ¡£´óÁ¿Éú²úMO Source¶ÔÖÆ×÷¹¤ÒÕÌá³öÁ˸ü¸ßµÄÄѶÈÒªÇó£¬Òò´ËÏֽ׶ÎÈ«ÇòMO SourceÉú²ú³§ÉÌΪÊý²»¶à¡£ ¡¡¡¡MO Ô´Éú²úÁ÷³Ì ¡¡¡¡2011Äê MOÔ´ÈÔÓлú»á³öÏÖ¹©¸ø³Ô½ô ¡¡¡¡ÂÀ¸±×ÜÖ¸³ö£¬ÔÓеÄMO Source¹©Ó¦Á´¶à°ë¢¶ÏÓÚ¹ú¼Ê´ó³§ÊÖÖС£Ïֽ׶ÎÈ«ÇòMO SourceÉú²ú³§É̶à°ë¼¯ÖÐÔÚÅ·¡¢ÃÀ¡¢Èյȹú£¬È磬ŷÖÞµÄAkzo Nobel£¬ÃÀ¹úµÄDow Chemical£¨Rohm Haas£©£¬Ó¢¹úµÄSAFC£¬ÈÕ±¾µÄSumitomoµÈ¡£MO Source¶¼ÊÇ´óµÄ¼¯ÍŹ«Ë¾µ±ÖеÄһС²¿·Ý²úÆ·¡£¶øÊÜ»ÝÓÚ2010ÄêMO Source´óȱ»õÓ°Ï죬½ËÕÄÏ´ó¹âµçÆô¶¯ÁË´ó·ù¶ÈÀ©²ú¼Æ»£¬½øÒ»²½À©´óÁËÆäÔŲ́ÍåÓ뺫¹úÊг¡µÄÏúÊ۷ݶĿǰ½ËÕÄÏ´ó¹âµçµÄ²úÄÜÔ¼3-5¶Ö/Ä꣬δÀ´»¹ÓгÖÐøÀ©²ú¼Æ»£¬ÓÐÍûÔÚδÀ´¼¸ÄêÄÚ½«²úÄÜÀ©³äÖÁ30¶Ö/Äê¡£ ¡¡¡¡ÖÁÓÚ2011ÄêLED²úÒµÊÇ·ñÓлú»áÔÚ³öÏÖ´ó·ù¶È¹©²»Ó¦ÇóµÄÇé¿ö? ÂÀ¸±×ÜÈÏΪ̨ÍåÊг¡ÈÔÊǹ©²»Ó¦Çó£¬Ö÷ÒªÊÇÒòΪ̨Í峧ÉÌÀ©³ä²úÄÜ£¬´ó·ùÒý½øMOCVD»ų́£¬µ¼Ö»ų́´ó·ù¶ÈÔö³¤£¬Ê¹Ì¨ÍåÊг¡ÉÏMO Source¹©Ó¦½ôȱ¡£ËäÈ»º«¹ú´ó¿Í»§¶ÔÓÚMO SourceµÄÐèÇó½Ï֮ǰȱ»õʱÓÐËù¼õ»º£¬µ«ÊÇС¿Í»§»¹ÊÇÄò»µ½»õ¡£²»¹ýÓÉÓÚ2011ÄêLED±³¹âµçÊÓÊг¡Éýκó£¬LEDʹÓÃÁ¿´ó·ù¶ÈÔö¼Ó£¬2011Äê3ÔÂ~4ÔÂÒÔºóÓпÉÄܳöÏÖMO SourceµÚ¶þÂֵĹ©»õ½ôÕÅ¡£ ¡¡¡¡½ËÕÄÏ´ó¹âµçδÀ´¹æ»®ÓëÏÂÒ»½×¶ÎÌôÕ½ ¡¡¡¡¶ÔÓÚ¹«Ë¾Î´À´µÄ¹æ»®£¬½ËÕÄÏ´ó¹âµç½«ÅäºÏÖйú¹ú¼Ò·¢Õ¹LED²úÒµµÄÔ¶´óÄ¿±ê£¬¾¡Á¿×öÇ¿×ö´ó£¬ÕùÈ¡ÔÚÊÀ½çLED²úÒµÖÐÕ¼ÓÐһϯ֮µØ¡£ÂÀ¸±×ܲ¹³ä½éÉÜ£¬LED×÷ΪÐÂÐ˼¼Êõ£¬Î´À´ÆäÓ¦ÓûáÔ½À´Ô½¹ã·º£¬ÏàÓ¦µØÒ²¸øLED²úÒµÏà¹Ø³§ÉÌ´øÀ´ÁË»úÓöºÍÌôÕ½£¬ÄÇЩӵÓÐ×ÔÖ÷Öǻ۲ƲúȨµÄÆóÒµ£¬½«»áÔÚδÀ´µÄ¾ºÕùÖÐÕ¼¾ÝÉϷ磬²¢ÄÜÔÚ¼¤ÁÒµÄÊг¡¾ºÕùÖÐÖð²½×ßÏòÁ¼ÐÔ·¢Õ¹¡£ ¡¡¡¡¶øÔÚÆäËüеÄÓ¦ÓÃÁìÓò·½Ã棬¹«Ë¾¼Æ»ÔÚ°ëµ¼Ì壬̫ÑôÄܹâ·ü²úÒµ½øÐÐ×ÔÖ÷Ñз¢£¬Ä¿Ç°ÒѲú³ö¸ÃÁìÓòµÄÇ°Õ°ÐÔ²úÆ·¡£Õë¶ÔÓ¦ÓÃÓÚPhase Change Memory(PCM)µÄ²úÆ·£¬¹«Ë¾Ò²ÒÑ×ÅÊÖÑо¿£¬²¢ÓÐСÁ¿²úÆ·³ö»õ£¬²»¹ý²úÆ·µÄ³ÉÊìÓ¦Óû¹ÐèÒª3¡ª5ÄêµÄʱ¼ä¡££¨±à¼£ºÂ̹âÖ®Ï裩 | |
¡¤×¨·ÃÖйúΨһMOÔ´×ÔÖ÷¹©Ó¦É̽ËÕÄÏ´ó¹âµç 2010-11-26 |
¡¤ÄÏ´ó¹âµçн¨10¶ÖÐÂÈý¼×»ùïØÉú²úÏß 2010-3-19 |