‹
  Öйú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷ÍøÊ×Ò³ > LEDѧԺ > ֪ʶ¾«½² > ÍâÑÓоƬ > ÕýÎÄ
¹è³Äµ×LEDоƬÖ÷ÒªÖÆÔ칤ÒÕ
  2010-7-1  10:55:00    Öйú¹âµçÍø      ÐÐÒµ·ÖÀà:ÍâÑÓоƬ    ä¯ÀÀ
 

¡¡¡¡[µ¼¶Á]Ä¿Ç°ÈÕ±¾ÈÕÑǹ«Ë¾Â¢¶ÏÁËÀ¶±¦Ê¯³Äµ×ÉÏGaN»ùLEDרÀû¼¼Êõ£¬ÃÀ¹úCREE¹«Ë¾Â¢¶ÏÁËSiC³Äµ×ÉÏGaN»ùLEDרÀû¼¼Êõ¡£Òò´Ë£¬Ñз¢ÆäËû³Äµ×ÉϵÄGaN»ùLEDÉú²ú¼¼Êõ³ÉΪ¹ú¼ÊÉϵÄÒ»¸öÈȵ㡣Äϲý´óѧÓëÏÃÃÅ»ªÁªµç×ÓÓÐÏÞ¹«Ë¾ºÏ×÷³Ðµ£Á˹ú¼Ò863¼Æ»®ÏîÄ¿¡°»ùÓÚSi³Äµ×µÄ¹¦ÂÊÐÍGaN»ùLEDÖÆÔì¼¼Êõ¡±£¬¾­¹ý½üÈýÄêµÄÑÐÖÆ¿ª·¢£¬Ä¿Ç°ÒÑͨ¹ý¿Æ¼¼²¿ÏîÄ¿ÑéÊÕ¡£

 
  

¡¡¡¡1993ÄêÊÀ½çÉϵÚÒ»Ö»GaN»ùÀ¶É«LEDÎÊÊÀÒÔÀ´£¬LEDÖÆÔì¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹ÁîÈËÖõÄ¿¡£Ä¿Ç°¹ú¼ÊÉÏÉÌÆ·»¯µÄGaN»ùLED¾ùÊÇÔÚÀ¶±¦Ê¯³Äµ×»òSiC³Äµ×ÉÏÖÆÔìµÄ¡£µ«À¶±¦Ê¯ÓÉÓÚÓ²¶È¸ß¡¢µ¼µçÐԺ͵¼ÈÈÐÔ²îµÈÔ­Òò£¬¶ÔºóÆÚÆ÷¼þ¼Ó¹¤ºÍÓ¦ÓôøÀ´ºÜ¶à²»±ã£¬SiCͬÑù´æÔÚÓ²¶È¸ßÇҳɱ¾°º¹óµÄ²»×ãÖ®´¦£¬¶ø¼Û¸ñÏà¶Ô±ãÒ˵ÄSi³Äµ×ÓÉÓÚÓÐ×ÅÓÅÁ¼µÄµ¼Èȵ¼µçÐÔÄܺͳÉÊìµÄÆ÷¼þ¼Ó¹¤¹¤ÒÕµÈÓÅÊÆ£¬Òò´ËSi³Äµ×GaN»ùLEDÖÆÔì¼¼ÊõÊܵ½Òµ½çµÄÆÕ±é¹Ø×¢¡£

¡¡¡¡Ä¿Ç°ÈÕ±¾ÈÕÑǹ«Ë¾Â¢¶ÏÁËÀ¶±¦Ê¯³Äµ×ÉÏGaN»ùLEDרÀû¼¼Êõ£¬ÃÀ¹úCREE¹«Ë¾Â¢¶ÏÁËSiC³Äµ×ÉÏGaN»ùLEDרÀû¼¼Êõ¡£Òò´Ë£¬Ñз¢ÆäËû³Äµ×ÉϵÄGaN»ùLEDÉú²ú¼¼Êõ³ÉΪ¹ú¼ÊÉϵÄÒ»¸öÈȵ㡣Äϲý´óѧÓëÏÃÃÅ»ªÁªµç×ÓÓÐÏÞ¹«Ë¾ºÏ×÷³Ðµ£Á˹ú¼Ò863¼Æ»®ÏîÄ¿¡°»ùÓÚSi³Äµ×µÄ¹¦ÂÊÐÍGaN»ùLEDÖÆÔì¼¼Êõ¡±£¬¾­¹ý½üÈýÄêµÄÑÐÖÆ¿ª·¢£¬Ä¿Ç°ÒÑͨ¹ý¿Æ¼¼²¿ÏîÄ¿ÑéÊÕ¡£

¡¡¡¡1 Si³Äµ×LEDоƬÖÆÔì

¡¡¡¡1.1  ¼¼Êõ·Ïß

¡¡¡¡ÔÚSi³Äµ×ÉÏÉú³¤GaN£¬ÖÆ×÷LEDÀ¶¹âоƬ¡£

¡¡¡¡¹¤ÒÕÁ÷³Ì£ºÔÚSi³Äµ×ÉÏÉú³¤AlN»º³å²ã¡úÉú³¤nÐÍGaN¡úÉú³¤InGaN£¯GaN¶àÁ¿×ÓÚå·¢¹â²ã¡úÉú³¤pÐÍAIGaN²ã¡úÉú³¤pÐÍGaN²ã¡ú¼üºÏ´øAg·´¹â²ã²¢ÐγÉpÐÍÅ·Ä·½Ó´¥µç¼«¡ú°þÀë³Äµ×²¢È¥³ý»º³å²ã¡úÖÆ×÷nÐͲôsi²ãµÄÅ·Ä·½Ó´¥µç¼«¡úºÏ½ð¡ú¶Û»¯¡ú»®Æ¬¡ú²âÊÔ¡ú°ü×°¡£

¡¡¡¡1.2  Ö÷ÒªÖÆÔ칤ÒÕ

¡¡¡¡²ÉÓÃThomas Swan CCSµÍѹMOCVDϵͳÔÚ50 mm si(111)³Äµ×ÉÏÉú³¤GaN»ùMQW½á¹¹¡£Ê¹ÓÃÈý¼×»ùïØ(TMGa)ΪGaÔ´¡¢Èý¼×»ùÂÁ(TMAI)ΪAlÔ´¡¢Èý¼×»ùî÷(TMIn)ΪInÔ´¡¢°±Æø(NH3)ΪNÔ´¡¢¹èÍé(SiH4)ºÍ¶þïþ(CP2Mg)·Ö±ðÓÃ×÷nÐͺÍpÐͲôÔÓ¼Á¡£Ê×ÏÈÔÚSi(111)³Äµ×ÉÏÍâÑÓÉú³¤AlN»º³å²ã£¬È»ºóÒÀ´ÎÉú³¤nÐÍGaN²ã¡¢InGaN£¯GaN¶àÁ¿×ÓÚå·¢¹â²ã¡¢pÐÍAlGaN²ã¡¢pÐÍGaN²ã£¬½Ó×ÅÔÚpÃæÖÆ×÷Ag·´Éä¾µ²¢ÐγÉpÐÍÅ·Ä·½Ó´¥£¬È»ºóͨ¹ýÈÈѹº¸·½·¨°ÑÍâÑÓ²ãתÒƵ½µ¼µç»ù°åÉÏ£¬ÔÙÓÃSi¸¯Ê´Òº°ÑSi³Äµ×¸¯Ê´È¥³ý²¢±©Â¶nÐÍGaN²ã£¬Ê¹ÓüʴҺ¶ÔnÐÍÃæ´Ö»¯ºóÔÙÐγÉnÐÍÅ·Ä·½Ó´¥£¬ÕâÑù¾ÍÍê³ÉÁË´¹Ö±½á¹¹LEDоƬµÄÖÆ×÷¡£½á¹¹Í¼¼ûͼ1¡£

¡¡¡¡´Ó½á¹¹Í¼Öп´³ö£¬Si³Äµ×оƬΪµ¹×°±¡Ä¤½á¹¹£¬´ÓÏÂÖÁÉÏÒÀ´ÎΪ±³ÃæAuµç¼«¡¢Si»ù°å¡¢Õ³½Ó½ðÊô¡¢½ðÊô·´Éä¾µ(pÅ·Ä·µç¼«)¡¢GaNÍâÑӲ㡢´Ö»¯±íÃæºÍAuµç¼«¡£ÕâÖֽṹоƬµçÁ÷´¹Ö±·Ö²¼£¬³Äµ×Èȵ¼Âʸߣ¬¿É¿¿ÐԸߣ»·¢¹â²ã±³ÃæΪ½ðÊô·´Éä¾µ£¬±íÃæÓдֻ¯½á¹¹£¬È¡¹âЧÂʸߡ£

¡¡¡¡1.3  ¹Ø¼ü¼¼Êõ¼°´´ÐÂÐÔ

¡¡¡¡ÓÃSi×÷GaN·¢¹â¶þ¼«¹Ü³Äµ×£¬ËäȻʹLEDµÄÖÆÔì³É±¾´ó´ó½µµÍ£¬Ò²½â¾öÁËרÀû¢¶ÏÎÊÌ⣬Ȼ¶øÓëÀ¶±¦Ê¯ºÍSiCÏà±È£¬ÔÚSi³Äµ×ÉÏÉú³¤GaN¸üΪÀ§ÄÑ£¬ÒòΪÕâÁ½ÕßÖ®¼äµÄÈÈʧÅäºÍ¾§¸ñʧÅä¸ü´ó£¬SiÓëGaNµÄÈÈÅòÕÍϵÊý²î±ðÒ²½«µ¼ÖÂGaNĤ³öÏÖ¹êÁÑ£¬¾§¸ñ³£Êý²î»áÔÚGaNÍâÑÓ²ãÖÐÔì³É¸ßµÄλ´íÃܶȣ»ÁíÍâSi³Äµ×LED»¹¿ÉÄÜÒòΪSiÓëGaNÖ®¼äÓÐ0.5 VµÄÒìÖÊÊÆÀݶøʹ¿ªÆôµçѹÉý¸ßÒÔ¼°¾§ÌåÍêÕûÐÔ²îÔì³ÉpÐͲôÔÓЧÂʵͣ¬µ¼Ö´®Áªµç×èÔö´ó£¬»¹ÓÐSiÎüÊտɼû¹â»á½µµÍLEDµÄÍâÁ¿×ÓЧÂÊ¡£Òò´Ë£¬Õë¶ÔÉÏÊöÎÊÌ⣬ÉîÈëÑо¿ºÍ²ÉÓÃÁË·¢¹â²ãλ´íÃܶȿØÖƼ¼Êõ¡¢»¯Ñ§°þÀë³Äµ×תÒƼ¼Êõ¡¢¸ß¿É¿¿ÐԸ߷´¹âÌØÐÔµÄpÐÍGaNÅ·Ä·µç¼«ÖƱ¸¼¼Êõ¼°¼üºÏ¼¼Êõ¡¢¸ß³ö¹âЧÂʵÄÍâÑÓ²ÄÁϱíÃæ´Ö»¯¼¼Êõ¡¢³Äµ×ͼÐλ¯¼¼Êõ¡¢ÓÅ»¯µÄ´¹Ö±½á¹¹Ð¾Æ¬Éè¼Æ¼¼Êõ£¬ÔÚ´óÁ¿µÄÊÔÑéºÍ̽Ë÷ÖУ¬½â¾öÁËÐí¶à¼¼ÊõÄÑÌ⣬×îÖճɹ¦ÖƱ¸³ö³ß´ç1 mm¡Á1 mm£¬350 mAϹâÊä³ö¹¦ÂÊ´óÓÚ380 mW¡¢·¢¹â²¨³¤451 nm¡¢¹¤×÷µçѹ3.2 VµÄÀ¶É«·¢¹âоƬ£¬Íê³É¿ÎÌâ¹æ¶¨µÄÖ¸±ê¡£²ÉÓõĹؼü¼¼Êõ¼°¼¼Êõ´´ÐÂÐÔÓÐÒÔϼ¸¸ö·½Ãæ¡£

¡¡¡¡(1)²ÉÓöàÖÖÔÚÏß¿ØÖƼ¼Êõ£¬½µµÍÁËÍâÑÓ²ÄÁÏÖеÄÈÐλ´íºÍÂÝλ´í£¬¸ÄÉÆÁËSiÓëGaNÁ½ÕßÖ®¼äµÄÈÈʧÅäºÍ¾§¸ñʧÅ䣬½â¾öÁËGaNµ¥¾§Ä¤µÄ¹êÁÑÎÊÌ⣬»ñµÃÁ˺ñ¶È´óÓÚ4 ¦ÌmµÄÎÞÁÑÎÆGaNÍâÑÓĤ¡£

¡¡¡¡(2)ͨ¹ýÒýÈëAIN£¬AlGaN¶à²ã»º³å²ã£¬´ó´ó»º½âÁËSi³Äµ×ÉÏÍâÑÓGaN²ÄÁϵÄÓ¦Á¦£¬Ìá¸ßÁ˾§ÌåÖÊÁ¿£¬´Ó¶øÌá¸ßÁË·¢¹âЧÂÊ¡£

¡¡¡¡(3)ͨ¹ýÓÅ»¯Éè¼Æn-GaN²ãÖÐSiŨ¶È½á¹¹¼°Á¿×ÓÚ壯ÀÝÖ®¼äµÄ½çÃæÉú³¤Ìõ¼þ£¬¼õСÁËоƬµÄ·´Ïò©µçÁ÷²¢Ìá¸ßÁËоƬµÄ¿¹¾²µçÐÔÄÜ¡£

¡¡¡¡(4)ͨ¹ýµ÷½ÚpÐͲãþŨ¶È½á¹¹£¬½µµÍÁËÆ÷¼þµÄ¹¤×÷µçѹ£»Í¨¹ýÓÅ»¯pÐÍGaNµÄºñ¶È£¬¸ÄÉÆÁËоƬµÄÈ¡¹âЧÂÊ¡£

¡¡¡¡(5)ͨ¹ýÓÅ»¯ÍâÑÓ²ã½á¹¹¼°²ôÔÓ·Ö²¼£¬¼õС´®Áªµç×裬½µµÍ¹¤×÷µçѹ£¬¼õÉÙÈȲúÉúÂÊ£¬ÌáÉýÁËLEDµÄ¹¤×÷ЧÂʲ¢¸ÄÉÆÆ÷¼þµÄ¿É¿¿ÐÔ¡£

¡¡¡¡(6)²ÉÓöà²ã½ðÊô½á¹¹£¬Í¬Ê±¼æ¹ËÅ·Ä·½Ó´¥¡¢·´¹âÌØÐÔ¡¢Õ³½ÓÌØÐԺͿɿ¿ÐÔ£¬ÓÅ»¯º¸½Ó¼¼Êõ£¬½â¾öÁËÒø·´Éä¾µÓëp-GaNÕ³¸½²»ÀÎÇÒ½Ó´¥µç×è´óµÄÎÊÌâ¡£

¡¡¡¡(7)ÓÅÑ¡Á˶àÖÖº¸½Ó½ðÊô£¬ÓÅ»¯º¸½ÓÌõ¼þ£¬³É¹¦»ñµÃÁËGaN±¡Ä¤ºÍµ¼µçSi»ù°åÖ®¼äµÄÀι̽áºÏ£¬½â¾öÁ˸ùý³ÌÖвúÉúµÄÁÑÎÆÎÊÌâ¡£

¡¡¡¡(8)ͨ¹ýʪ·¨ºÍ¸É·¨Ïà½áºÏµÄ±íÃæ´Ö»¯£¬¼õÉÙÁËÄÚ²¿È«·´ÉäºÍ²¨µ¼Ð§Ó¦ÒýÆðµÄ¹âËðʧ£¬Ìá¸ßLEDµÄÍâÁ¿×ÓЧÂÊ£¬Ê¹Æ÷¼þ»ñµÃÁ˽ϸߵijö¹âЧÂÊ¡£

¡¡¡¡(9)½â¾öÁËGaN±íÃæ´Ö»¯Éî¶È²»¹»ÇÒ´Ö»¯²»¾ùÔȵÄÎÊÌ⣬½â¾öÁË´Ö»¯±íÃæÇåÏ´²»¸É¾»µÄÄÑÌâ²¢ÓÅ»¯ÁËNµç¼«µÄ½ðÊô½á¹¹£¬ÔÚ´Ö»¯µÄN¼«ÐÔn-GaN±íÃæ»ñµÃÁ˵Í×èÇÒÎȶ¨µÄÅ·Ä·½Ó´¥¡£

¡¡¡¡2 Si³Äµ×LED·â×°¼¼Êõ

¡¡¡¡2.1  ¼¼Êõ·Ïß

    ²ÉÓÃÀ¶¹âLED¼¤·¢YAG£¯¹èËáÑΣ¯µªÑõ»¯Îï¶à»ùÉ«Ìåϵӫ¹â·Û£¬·¢Éä»Æ¡¢ÂÌ¡¢ºì¹â£¬ºÏ³É°×¹âµÄ¼¼Êõ·Ïß¡£

[1][2][3][4] ÏÂÒ»Ò³
‹