2010年LED背光TV市场迅速增长，MOCVD机台增加众多，市场上LED用蓝宝石衬底处于供不应求的状态。而蓝宝石晶体生长炉的数量与品质决定了蓝宝石衬底的数量与品质。为此LEDinside专访了LED级蓝宝石晶体生设备提供商，香港科瑞斯特科技有限公司副总经理陈 虹 女士，探讨蓝宝石衬底市场的现状及发展趋势。

　　蓝宝石衬底的市场现状

　　2010年被业内普遍认为是LED发展的元年，来自欧美国家照明巨头的资讯回馈，LED灯具在5年内进入普通照明市场是大势所趋。随着MOCVD基台数的增长迅猛，LED外延片用的高品质的蓝宝石基片供不应求，目前已经安装的MOCVD大约有三分之一处于停产的状态，而蓝宝石衬底平均价格更是一路从最低8美元/片上涨至30美元/片（2英寸）。

　　外延片厂商对蓝宝石衬底的要求：

　　1、品质稳定：各批次的产品差异不大、一致性好。

　　2、错位密度小：错位密度是指每平方厘米衬底上缺陷的数量，目前由科瑞斯特ISS3510生产的蓝宝石晶体位元错密度可以做到千级以下，大概在400-600之间。

　　3、供应链跟得上：芯片生产厂家的产能可以迅速与外延片厂商扩产同步。

　　目前市场上蓝宝石生产设备的情况

　　蓝宝石晶体生长设备并不能简单地进行仿造，必须在拥有晶体生长技术的基础上，依据晶体生长的原理以及蓝宝石晶体所具有的物理化学性能等对设备进行设计。蓝宝石晶体生长设备主要包含热场系统、控制系统、电源、晶转晶升系统、真空系统、炉腔配套辅组系统等。同时，蓝宝石晶体材料也不断向大直径、高品质、产业化方向发展，这就要求与之相适应的晶体生长设备向大型化方向发展，具备稳定性好、品质高、自动化程度高、操作使用方便等优点。而现在市场上的同类型蓝宝石设备的最大缺点在于：

　　其一：人工依赖性高。设备的操作需要依靠人经验的主观判断，操作人员的经验及技术水准决定了产品的品质的好坏，对操作人员的依赖度非常高。

　　其二：订单交货周期长。市场同类设备从订单下达至正式生产周期平均需要2年的时间，科瑞斯特ISS设备交货周期可以做：3个月可交付，4个月内调试完毕。

　　其三：产品一致性差，当前市场上的泡生法设备的错位密度最好可以做到400-900，但各炉差异较大，例如第一炉为700-800，第二炉可能为400-600，第三炉可能为800-900，各炉不稳定。外延片厂商需要根据不同的错位密度来制定相应的加工方法，各炉晶体的错位密度差异大为外延片的加工增加了工艺调试的成本和难度。

　　科瑞斯特的蓝宝石生长炉有什么优势

　　科瑞斯特是专业生产LED外延用蓝宝石设备，我们的蓝宝石生长设备是全自动化的，科瑞斯特ISS设备最大的优势是：是把蓝宝石晶体的生产过程从艺术变成技术，产品品质稳定可靠。科瑞斯特ISS蓝宝石晶体生长炉有以下几大优势：

　　1、 完全自主研发的LSG工艺法，实现了全自动晶体生长，相对原有的泡生法，大大提高了晶体生长速率、产出、一致性。

　　国际上目前主流的蓝宝石晶体生长工艺是泡生法、提拉法、导模以及热交换法，而泡生法工艺生长的蓝宝石晶体约为目前市场份额的70%。泡生法是最合适LED蓝宝石生产的方法，生产的晶体品质更高。其他方法生产的晶体品质均不是很好。

　　科瑞斯特ISS蓝宝石晶体生长炉采用的是完全自主研发的LSG工艺法，LSG 工艺法是在泡生法的基础，做了进一步的工艺优化和改善，从而确保由ISS3510设备生产的晶体位元错密度可以做到千级以下，并且每批次晶体的一致性非常好，科瑞斯特ISS 设备可以实现每炉之间的差异不超过10%。

　　2、 科瑞斯特是国内首家提供闭环控制、完全自动化的LED级晶体生长炉。

　　科瑞斯特 ISS的全系列蓝宝石生长炉使用了万分之五级的高精度电源、先进完善的热系统、全自动闭环控制系统等眾多先进的设计，并集成了完整可靠的工艺包。

　　3、 CrystalTech ISS 全自动晶体生长炉同其他同类型设备的比较

项目 CrystalTech ISS全系列蓝宝石晶体生长炉 其他厂家