MOCVD¼¤ÔöÒý·¢LED²úÒµ·çÏÕ¡¡Ó²¼þÉ豸´ýÍ»ÆÆ | |
| |
¡¡¡¡Ä¿Ç°£¬ÓÉÓÚGaN»ùLEDµÄÖÊÁ¿ºÍ¼Û¸ñµÄÔÒò£¬»¹Ö»ÄÜÊÇÔÚÌØÖÖÕÕÃ÷ÉÏÆð×÷Óá£Å¬Á¦Ìá¸ßÖÊÁ¿ºÍ½µµÍ¼Û¸ñ£¬Ê¹Ö®¾¡¿ì½øÈëÆÕͨÕÕÃ÷£¬ÊÇÒ»¸ö×îÖØÒªµÄÈÎÎñ¡£ ¡¡¡¡½üÄêÀ´LED¹âԴЧÂÊÌá¸ßºÜ¿ì£¬¹ýÈ¥6¡¢7Äê¼äÌá¸ßÁË4¡«5±¶£¬Í¬Ê±³É±¾Ò²ÔÚ²»¶ÏϽµ£¬¶øÇÒϽµ·Ç³£¿ì£¬ÆóҵΪ¹æ±Ü·çÏÕÔÚÐÂÒ»ÂÖͶ×ʺÍÀ©²úÖÐÓ¦³ä·Ö¿¼ÂÇÕâÒ»·¢Õ¹Ç÷ÊÆ¡£ ¡¡¡¡µ±Ç°LEDµÄÖ÷Òª¼¼ÊõÎÊÌâÊÇÌá¸ß·¢¹âЧÂÊ¡¢½µµÍ¹âË¥Óë½µµÍ³É±¾¡£´ÓÇ°¼¸ÄêÍê³ÉµÄ¼¼ÊõÖ¸±êÇé¿ö¿´£¬°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹£¬±ÈԼƻ®¿ìµÃ¶à¡£·¢¹âЧÂÊÊг¡¹¦ÂÊLED²úÆ·ÒÑ´ï130lm/W¡£ ¡¡¡¡µ±Ç°²É¹º³É±¾¸ßÊÇÂÌÉ«ÕÕÃ÷µÄÖ÷ÒªÕÏ°¡£¶ÔÖйú´ó½LED²úÒµ·¢Õ¹£¬½¨ÒéÒªÈÃÍ»ÆÆÐÔм¼ÊõÃÈÑ¿¡¢³É³¤£¬Ð¼¼Êõ²»½öÊÇ´ó·ù½µµÍ³É±¾µÄÊֶΣ¬¶øÇÒÊÇ×ÔÖ÷´´ÐµĺËÐÄ¡£ ¡¡¡¡·¢¹â¶þ¼«¹Ü(LED)µÄ·¢Ã÷ÕßHolonyak2000ÄêÔÚÃÀ¹úÎïÀíѧ»á»á¿¯J.P.SÉÏÒÔ¡°·¢¹â¶þ¼«¹ÜÊǵƵÄ×îÖÕÐÎʽÂ𣿡±ÎªÌâ·¢±íÎÄÕ³ƣº¡°ÔÔòÉÏ·¢¹â¶þ¼«¹ÜÊǵƵÄ×îÖÕÐÎʽ£¬Êµ¼ÊÉÏÒ²ÊÇÈç´Ë£¬ËüµÄ·¢Õ¹Äܹ»¶øÇÒ½«¼ÌÐøµ½ËùÓй¦ÂʺÍÑÕÉ«¶¼ÊµÏÖΪֹ£¬Á˽âÕâÒ»µã¼«ÎªÖØÒª¡£¡±10Äê¹ýÈ¥ÁË£¬ÕâÒ»¹ÛµãÕýÔڵõ½Ó¡Ö¤¡£LEDÕÕÃ÷Ó¦ÓÃÕýÔÚ¿ìËÙ·¢Õ¹£¬¼¼ÊõÒ²ÔÚ²»¶ÏÈ¡µÃÍ»ÆÆ¡£ÔÚ9ÔÂ9ÈÕÕÙ¿ªµÄ¡°µÚÊ®¶þ½ìÈ«¹úLED²úÒµÑÐÌÖÓëѧÊõ»áÒ顱ÉÏ£¬ÎÒÃÇ¿´µ½£¬ÎÒ¹úLED¹¤ÒÕ¼¼ÊõÈ¡µÃÁË¿ìËÙ½ø²½£¬µ«Í¬Ê±£¬Ó²¼þÉ豸ÕýÔÚ³ÉΪ·¢Õ¹Æ¿¾±£¬ÌرðÊÇMOCVD(Óлú½ðÊô»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý)µÈºËÐÄÉ豸ÕýÔÚÖÆÔ¼²úÒµµÄ·¢Õ¹¡£ ¡¡¡¡¹¤ÒÕ¼¼Êõ½ø²½¿ìÓ²¼þÉ豸´ýÍ»ÆÆ ¡¡¡¡¡°µÚÊ®¶þ½ìÈ«¹úLED²úÒµÑÐÌÖÓëѧÊõ»áÒ顱½üÈÕÔÚÉîÛÚÕÙ¿ª£¬×÷Ϊȫ¹úÐÔÖØ´óѧÊõ»áÒ飬ÑÐÌÖ»áÈ«ÃæչʾÁËLEDÈ«²úÒµÁ´µÄ×îÐÂÑо¿³É¹û¡£´ÓѧÊõ»áÒéµÄ±¨¸æÖУ¬ÎÒÃǸе½£¬ÎÒ¹úLED¹¤ÒÕ¼¼Êõȷʵ½ø²½½Ï¿ì£¬ÌرðÊǹè³Äµ×LEDµÄ¿ìËÙ½ø²½£¬ÒýÀ´Òµ½çÖÚ¶à¹Ø×¢µÄÄ¿¹â¡£ÔÚLED¹¤ÒÕ¼¼Êõ¿ìËÙÍƽøµÄͬʱ£¬Ó²¼þÉ豸ȴδ¼ûÍ»ÆÆ£¬ºËÐÄ×°±¸ÌرðÊÇMOCVDÉ豸ÕýÔÚ³ÉΪ²úÒµ·¢Õ¹Æ¿¾±¡£ÓÉMOCVDÉ豸Òý·¢µÄͶ×ÊÈȳ±£¬ÕýÔÚ³ÉΪҵ½çÆÕ±é¹ØÐĵĽ¹µãÎÊÌâ¡£ ¡¡¡¡×Ô2003Äê¹ú¼ÒÆô¶¯°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷¹¤³ÌÒÔÀ´£¬ÎÒ¹ú°ëµ¼ÌåÕÕÃ÷²úÒµºÍ¼¼ÊõÈ¡µÃÏÔÖø½ø²½£¬³õ²½ÐγÉÁËÉÏÖÐÏÂÓαȽÏÍêÕûµÄÑз¢ºÍ²úÒµÌåϵ£¬½øÈë¿ìËÙ·¢Õ¹½×¶Î¡£ÒÔÆóҵΪÖ÷ÌåµÄLEDÖÆÔì¼¼Êõ½ø²½½Ï¿ì£¬ÆóÒµ²úÒµ»¯ÏßÉÏÍê³ÉµÄ¹¦ÂÊÐÍоƬ·â×°ºó¹âЧ´ïµ½80lm/W¡«100lm/W¡£¾ßÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄ¹¦ÂÊÐÍSi³Äµ×LEDоƬ·â×°ºó¹âЧ´ïµ½78lm/W£¬´¦ÓÚ¹ú¼ÊÏȽøˮƽ¡£ ¡¡¡¡Ä¿Ç°¹ú¼ÊÉÏGaN»ùLED²úÒµÖ÷Á÷µÄ³Äµ×ÊÇÀ¶±¦Ê¯£¬Ò²ÓÐÉÙÁ¿¹«Ë¾Ê¹ÓÃSiC³Äµ×¼°Si³Äµ×¡£Si³Äµ×¼Û¸ñµÍÁ®£¬µ¼µçÐÔÄÜÓÅÁ¼£¬µ«ÊÇSiÓëGaNµÄʧÅäºÜ´ó£¬ÍâÑÓ³öµÄGaNλ´íÃܶȽϸߣ¬¶øÇÒºÜÈÝÒ×·¢Éú¹êÁÑ£¬Òª»ñµÃ¸ßÖÊÁ¿µÄGaNÍâÑÓ²ã·Ç³£À§ÄÑ¡£×î½üÄϲý´óѧÔÚSi³Äµ×ÉÏÉú³¤GaN»ùÀ¶¹âLED·½ÃæÈ¡µÃÁ˽ϴó½øÕ¹£¬¹âЧ´ïµ½ÁË116.7Á÷Ã÷£¬´ïµ½ÁËͬÀà²úÆ·µÄ×î¸ßˮƽ¡£ ¡¡¡¡Í¬Ê±£¬Æä¼¼ÊõÒ²µÃµ½ÁËÑÏÃܵÄרÀû±£»¤£¬Æä´ó¹æÄ£²úÒµ»¯µÄ½øÕ¹£¬¶ÔÓÚÌá¸ßÎÒ¹úLED¼¼ÊõרÀûÔÚ¹ú¼ÊÉϵĵØλ¾ßÓкÜÖØÒªµÄÒâÒå¡£Si³Äµ×GaNLEDоƬµÄÑÐÖƳɹ¦£¬¸ÄдÁËÒÔÀ¶±¦Ê¯¡¢SiCΪ³Äµ×µÄGaNLEDµÄÀúÊ·£¬ÎªLED×ßÏòÆÕͨÕÕÃ÷¿ª±Ù³öÒ»Ìõеļ¼Êõ·Ïß¡£´Ó´Ë´Î»áÒéµÄ·´Ó¦¿´£¬¹è³Äµ×LEDÕýÔÚ³ÉΪҵ½ç¹Ø×¢µÄ½¹µã£¬¹è³Äµ×LED¼¼Êõ³ÐÔØÁËÒµ½çÌ«¶àµÄÏ£Íû¡£ ¡¡¡¡LED¹¤ÒÕ¼¼Êõ½ø²½·Ç³£¿ì£¬ÔÚ¹¤ÒÕ¼¼Êõ¿ìËÙ½ø²½µÄͬʱ£¬Ó²¼þÉ豸²¢Î´»ñµÃÍ»ÆÆ£¬ÌرðÊÇûÓгÉÊìµÄ¹ú²úÉ豸£¬´óÁ¿ºËÐĵÄÉ豸ÐèÒª½ø¿Ú£¬ÑÏÖØÖÆÔ¼ÁËLED¼¼ÊõºÍ²úÒµµÄ·¢Õ¹¡£ ¡¡¡¡MOCVDÉ豸½ø¿Ú¼¤Ôö²úÒµ·¢Õ¹·çÏÕ͹ÏÔ ¡¡¡¡¾Ý²»Íêȫͳ¼Æ£¬¹úÄÚ´óÔ¼30¸öµ¥Î»ÒѾ¹«Ê¾»òÕýÔڳィLEDÍâÑÓоƬÏîÄ¿¡£ÆäͶ×ʹºÂòMOCVDÉ豸µÄÊýÁ¿ÔÚ1400̨¡«1600̨£¬¶øʵ¼Ê½Ï¿ÉÄܵÄÊýÁ¿Ò²ÓÐ500̨¡«600̨¡£ ¡¡¡¡ÎªÊ²Ã´»áÓÐÈç´Ë´óµÄͶÈ룬ɽ¶«À˳±»ª¹â¹âµç×ÓÓÐÏÞ¹«Ë¾¸±×ܾÀíÈÎÖÒÏé·ÖÎöÈÏΪ£¬´íÎóÊý¾ÝµÄÒýµ¼£¬Ê¹ÕþÖμҺÍÆóÒµ¼ÒÈÈѪ·ÐÌÚ¡£¡°LEDÍâÑÓƬÓëоƬԼռÐÐÒµ70%ÀûÈó£¬LED·â×°Ô¼Õ¼10%¡«20%£¬¶øLEDÓ¦Óôó¸ÅÒ²Õ¼10%¡«20%¡±£¬Õ¾ÔÚÎÒ¹úµÄ½Ç¶È¿´ÕâÊǸö´íÎóµÄÊý¾Ý¡£¾Ýµ÷²é£¬·â×°ÐÐÒµºÍÓ¦ÓÃÐÐÒµµÄÀûÈóÔÚ3%¡«10%Ö®¼ä£¬°´ÕÕƽ¾ù6%¼ÆË㣬2009ÄêÎÒ¹ú·â×°ºÍÓ¦ÓõÄÀûÈóÔÚ48ÒÚÔª×óÓÒ£¬¶ø2009ÄêÎÒ¹úÍâÑÓºÍоƬµÄ×ܲúÖµ²Å23ÒÚÔª£¬ËùÒÔ˵LEDÍâÑÓƬÓëоƬԼռÐÐÒµ70%ÀûÈóµÄ˵·¨ÊÇ´íÎóµÄ¡£Õâ¸ö´íÎóµÄÊý¾ÝʹÈËÃǵÄͶ×ÊÆ´ÃüͶÏòÍâÑÓƬºÍоƬ²úÒµ¡£ ¡¡¡¡¸£½¨Ê¡¹âµçÐÐҵлáÃØÊ鳤ÅíÍò»ªÈÏΪ£¬´Ó¶ÔLEDÊг¡µÄ·ÖÎöÒÔ¼°¿ÉÄÜͶ×ʵĶ¯ÏòÀ´¿´£¬Ä¿Ç°¹úÄÚ¶ÔLEDÍâÑÓ¡¢Ð¾Æ¬µÄͶ×ÊÓÐЩ¹ýÈÈ£¬ÒòΪÊг¡ÈÝÁ¿Ã»ÓÐÄÇô´ó¡£¹¤ÒµºÍÐÅÏ¢»¯²¿µç×ÓÐÅϢ˾¸±Ñ²ÊÓÔ±¹Ø°×ÓñÇ¿µ÷£¬LED½øÈëÕÕÃ÷ÁìÓò£¬¼¯ÖÐÌåÏÖÁ˶༼ÊõÈںϵÄÌص㣬ÊôÓڸ߶˼¼ÊõºÍ²úÆ·£¬ÐèÒª¾ß±¸½ÏÇ¿µÄ²úÒµ»ù´¡ºÍ¼¼Êõ»ù´¡À´Ö§³Å·¢Õ¹ºÍÏà¹ØÓ¦Óã¬Ï£ÍûͶ×ÊÕ߶ԴËÄܹ»Óгä·ÖµÄÈÏʶ£¬×öºÃÊг¡·ÖÎöºÍ²úÆ·¶¨Î»£¬×öºÃͶ×ʼƻ®ºÍͶ×Ê·½°¸£¬ÓÐЧ¹æ±ÜͶ×Ê·çÏÕ¡£ ¡¡¡¡ÉϺ£´ó³¿¹âµç¿Æ¼¼ÓÐÏÞ¹«Ë¾¸±×ܾÀíÔÀ½¨Ë®·ÖÎöÈÏΪ£¬Õû¸öLED²úÒµËæ׿¼ÊõÌáÉý¡¢×¨Òµ»¯µÄ·¢Õ¹¡¢Æ·ÅƵÄÈ·Á¢£¬±ØÈ»ÓÉ·×·×Ó¿ÈëµÄ¡°Óλ÷Õ½¡±£¬·¢Õ¹µ½´óͶ×ʽøÈëµÄ¡°ÕóµØÕ½¡±£¬ÔÙµ½Æ·ÅÆÒýÁìµÄ¡°ÏµÍ³Õ½¡±¡£Òò´Ë£¬²úÒµ¼¯ÖжȻáÓúÀ´Óú¸ß¡£Õâ¸ö¹ý³ÌÖУ¬×ʱ¾³ÉΪ×î´óµÄÍÆÊÖ¡£²úҵϴÅƺÍÕûºÏÊÆÔÚ±ØÐС££¨±à¼£ºLedÓ㣩 | |
¡¤MOCVD¼¤ÔöÒý·¢LED²úÒµ·çÏÕ¡¡Ó²¼þÉ豸´ýÍ»ÆÆ 2010-9-15 |
¡¤1200̨MOCVDµÄ¹æ»®Òý·¢µÄ˼¿¼ 2010-9-10 |
¡¤Ð¾Æ¬ÉÏÓÎMOCVD»úÆæ»õ¿É¾Ó 2010-9-9 |
¡¤Veeco¸ß¼¶¼¼Êõ¹¤³ÌʦJames Pratt£ºMOCVDÉ豸µÄ·¢Õ¹Ç÷ÊÆ 2010-9-9 |
¡¤Ê¿À¼Î¢MOCVDÉ豸²É¹º½«»ñËijɲ¹Ìù 2010-9-2 |
¡¤2011Äêµ×È«ÇòMOCVDÉ豸ÊýÁ¿ÓÐÍû´ï2500̨ 2010-8-27 |
¡¤ÉϺ£À¶¹â¿ªÆôµÚÎåÂÖ¹ºÂòAXITRON MOCVD¼Æ»® 2010-8-26 |
¡¤Öйú¹æ»®Ôö¼ÓMOCVD³¬¹ý1200̨ 2010-8-20 |