| 董占民：加大投入，发展LED外延、芯片设备 | |
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9月3日，“石家庄国际半导体照明应用及标准检测创新论坛”在石家庄亚太大酒店国际会议中心成功举办，会上清华大学北京海淀清华园物理系副教授董占民做了“半导体照明产业化的检测设备-LED外延片、芯片检测”的报告，其具体观点如下： 外延片设备——PL谱仪具有高速光致发光谱测绘、膜厚度分布测绘、反射率分布、多种激光器、强大的分析处理软件、界面友好，操作简单等多种技术特点。并可实现逐点扫描检测等多种功能。作为外延片生产线的唯一国产化设备——PL谱仪已经成功应用于国内二十多条生产线：厦门三安-5台、天津三安3台、安徽三安20台（+26台）、南昌晶能3台、杭州士兰3台，武汉华灿3台等。 LED芯片扫描检测机的具有诸多功能，如高速芯片扫描检测能力、各种形式芯片的检测功能、稳定的光电参数检测能力、先进的芯片识别与定位功能、数据管理与分类处理软件以及界面友好，操作简单等方面的优势。LED芯片扫描检测机是在国家高新技术研究发展计划（863计划）的资助下，由清华大学和北京中拓机械有限责任公司共同研制和开发的专用芯片检测设备。该设备使用操作方便；运动稳定可靠；检测速度快，可达18K/h；点测针痕一致，不会对芯片造成损伤。本设备是集成精密运动控制、光电性能检测、图像识别技术为一体的芯片检测设备。尤其在光电检测和芯片识别上具有独特的技术优势。 外延片和芯片设备的国产化对于产业的发展非常必要。我国外延片检测设备价格低，现阶段40万元人民币左右，是进口价的一半左右，售后服务及时，升级灵活等优势明显。但同时也存在信息不及时和可信度等问题。 LED芯片测试与分拣设备是生产企业的瓶颈，现阶段测试分拣的速度每片/2英寸约一小时，外延炉每炉42片，每天生产4炉，一天生产168片，需要配套测试分选设备168/24=7套，每套11万美元×7=77万美元，一台外延炉约220万美元，不考虑占地人工费用，单单设备款为外延炉的三分之一左右。 2001年863支持PL谱仪70万元人民币，当时进口PL谱仪20-30万美元，约为人民币200-300万元，经过十年努力，进口设备降价到15-20万美元。PL谱仪的国产化为国家节约大量外汇。2006年863支持测试分选设备100万元人民币。 | |
