| AIXTRONN推出最新CRIUS® II-XL反应器 | |
2011-11-11 13:56:56 中国半导体照明网 梁静 行业:其它 浏览 | |
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2011年11月9日，在CHINASSL2011材料与装备技术分会上，爱思强研发副总裁Michael HEUKEN表示，爱思强于11月8日推出新型MOCVD设备——19x4英寸规格的新型CRIUS® II-XL反应器。
爱思强研发副总裁Michael HEUKEN CRIUS® II-XL主要采用CRIUS® II-L的硬件配置，只需更换衬托器底板的配置加上极少的工艺调整就能升级。此款CRIUS®反应器系列的最新机型同样是根据市场需求，特别是LED的成本需求，进行详尽分析后研发而成。Michael HEUKEN表示，反应器的产能对总体拥有成本的影响最大，因此，我们决定设计出19x4英寸规格的反应器。这一反应器已由爱思强应用实验室进行全面检测，确保除了出众的产能以外，其一致性及良率也无可挑剔。可以选择使用2英寸到8英寸之间任何尺寸的晶圆，硬件上只需简单的更换石墨盘，不需要其它硬件或工艺上的调整。” CRIUS®II-XL是爱思强CCS产品系列的最新出品，实验证明，该产品可在长达数年的时间内提供最佳的生产稳定性并保持良好运作。MOCVD系统的标准功能包括反应器在位的高度调整，以便在任何工艺环境下都可以选择最优化的反应器结构，该系统还配备独特的ARGUS在位监测设备。 | |
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