| 孙永健：湿法PSS衬底技术可以降低成本的1/3 | |
2011-11-11 14:01:24 中国半导体照明网 梁静 行业:其它 浏览 | |
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在第八届中国国际半导体照明展览会暨论坛材料与装备技术分会上，东莞中加镓半导体科技有限公司经理孙永健做了题为《高功率GaN基LED器件衬底材料的研究与发展》的报告。
东莞中加镓半导体科技有限公司经理孙永健 孙永健表示，目前，蓝宝石衬底材料下降，低亮度芯片价格同样严重下降，再随着新安装的MOCVD产能的释放，必然要求芯片制造企业转向高亮度、高功率的LED器件。与此同时，对高亮、高功率LED起着至关重要作用的衬底产品的必然也需要转型。而图形化蓝宝石衬底（PSS）是目前高亮LED的首选衬底。 PSS目前有两个发展方向：一是维持现有效率、减低成本；二是继续提高效率。旨在降低成本的发展方向，湿法PSS是很好的选择，采用湿法PSS衬底技术可以节省成本的1/3。北京大学和加镓半导体联合开发了低成本湿法制备凸起的PSS技术并进入中试阶段，湿法PSS衬底由于平台型结构生长易产生空气隙，更有利于应力的释放以提高晶体质量，得到较好的光电学效果。第二个发展方向同质外延衬底GaN template衬底是很好的选择，同质外延可以得到更好的 | |
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