| 璨圆光电将安装Aixtron新型CRIUS® II-XL反应器 | |
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据最新消息，Aixtron将为台湾璨圆光电安装其于今年三季度订购的19x4英寸规格的CRIUS® II-XL反应器。此订单原为CRIUS® II-L型号，但在爱思强11月8日宣布推出更大容量新产品CRIUS® II-XL后，随即将订单转换为CRIUS® II-XL。与生产69x2英寸或16x4英寸晶片的CRIUS® II-L相比，CRIUS® II-XL在仅需微调工艺参数的情况下即可实现更大量产达到19x4英寸。据称CRIUS® II-XL反应器能达到世界最高的产量和生产效率，CRIUS® II的任何现有制程都能顺利地转换至CRIUS® II-XL反应器。从一个芯片规格转换至另一个规格仅需要更换底板，而无需作出进一步的硬件或程序调整。这些特性能很好地帮助芯片制造商严格控制InGaN LED的生产成本。 璨圆光电新购CRIUS® II-XL反应器将用于量产基于InGaN材料的高亮度蓝光LED外延片。Aixtron当地的技术支持团队将会在该公司位于台湾的技术先进的厂房进行新反应器的安装和调试。 | |
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