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拓墣产研:MOCVD大热 中国投入开发单位近20家
  2011-6-5  17:29:22    中国半导体照明网      行业分类:其它    浏览
 

  据拓墣产业研究所(TRI)观察,预计未来还会有更多的国际设备大厂商加入,促进各环节设备的改善,提升工艺技术和产值能力。未来MOCVD设别能力提升主要体现:其一是衬底尺寸逐渐增大化,即逐渐向由2英寸向4英寸、6英寸、8英寸衬底发展;其二设备多腔室同步工艺化,即有目前的单个腔室工艺逐步向双腔室、四腔室等多腔室工艺发展。

 
  2010年全球LED产业整体成长快速,年增长率高达42%,随着技术的提升LED应用市场逐渐烧至照明应用领域,刺激上游需求,LED主设备MOCVD投资需求急速暴增。目前国际上MOCVD设备厂商主要为Aixtron、Veeco两家厂商,其占据全球九成以上的市场。但随着LED照明应用渐渐趋近,终端未来应用市场的可期,MOCVD设备的制造生产引来更多国际设备厂商关注,其中不乏有国际设备巨头,如Applied Materials(应用材料),积极投入MOCVD设备的研发,同时加强与国际半导体代工大厂台积电合作,力图在设备及工艺上取得重大突破。此外,韩国的Jusung(周星)积极加强与LED代工厂合作,推出高速MOCVD,力求快速突破市场。韩国VTS、Hanvac、日本Powdec、英国EMF等也积极加大MOCVD设备提升。据拓墣产业研究所(TRI)观察,预计未来还会有更多的国际设备大厂商加入,促进各环节设备的改善,提升工艺技术和产值能力。未来MOCVD设别能力提升主要体现:其一是衬底尺寸逐渐增大化,即逐渐向由2英寸向4英寸、6英寸、8英寸衬底发展;其二设备多腔室同步工艺化,即有目前的单个腔室工艺逐步向双腔室、四腔室等多腔室工艺发展。
 
  国际大厂跨足MOCVD设备及效率提升趋势

 
Source:各厂商;拓墣产业研究所整理,2011/05
注释:图中设备为Veeco公司最新机型MaxBright型(4腔室)
 
  在此情况下,中国大陆投入到MOCVD设备相关开发的企业及科研单位也逐渐增多。目前中国大陆已公开投入MOCVD相关研究开发企事业单位近20家,投入资金多在亿元人民币左右,依此计算投入资金近20亿元人民币。庞大的资本投入及相关技术力量的投入必将加速MOCVD设备国产化的进程,但是在量产化、市场化方面仍需相当时段。未来市场的变化莫测,中国大陆相关厂商能否借LED照明爆发之机崭露头角还有待于市场的检验。
中国大陆MOCVD设备研发及生产主要单位(科研院校)
序号
单位/高校
规格
技术来源
1
广东昭信半导体装备制造有限公司
37*2‘
华中科技大学
2
上海蓝宝光电材料有限公司
3*2
中科院
3
正泰理想新能源设备有限公司
 
 
4
青岛杰生电气有限公司
6*2’
西安电子科技大学
5
西安光学精密机械研究所
3*2’
中科院
6
中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司
7*2‘
中科院
7
青岛精诚华旗微电子设备有限公司
3*2‘
 
8
东莞中镓半导体科技有限公司
 
北京大学
9
华光慧能
 
法国CSMEC
10
江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
 
香港华晟
11
中电48所
6*2’
 
12
北京泰科诺科技有限公司
3*2'
 
13
清华大学集成光电子实验室
 
 
14
山东大学晶体材料国家重点实验室
 
 
15
中科院半导体研究所
 
 
16
福建省半导体照明工程技术中心
 
 
17
华南师范大学信息光电子科技学院
 
 
18
南京大学江苏省光电信息功能材料实验室
 
 
Source:各公司及单位;拓墣产业研究所整理,2011/05