从源头降成本材料和装备技术主抓性价比

从源头降成本材料和装备技术主抓性价比
2012-11-09 15:45:12 中国半导体照明网梁静行业:其它浏览

　　致力于探讨上游提升性价比的关键技术；探讨MOCVD设备的最新研究进展，特别是国产化情况；探讨Si、SiC及蓝宝石衬底的发展方向，2012年11月6日，作为第九届中国国际半导体照明展览会暨论坛（CHINASSL2012）的重要技术分会，“材料与装备技术”分会在广州广交会威斯汀酒店顺利举办。会议由南京大学常务副校长张荣教授与香港ASM公司资深技术经理李明主持。

　　材料与装备一直是LED产业链中至关重要的一环，它不仅从源头把控着LED技术的方向、产品的质量，也在很大程度上影响着LED器件的成本的高低。特别是在LED照明市场并未大范围打开的情况下，LED产品的性价比对产业的发展、市场的渗透有着极其重要的影响。从源头降成本、保质量，是材料、装备厂商的共同发展方向。

　　MOCVD设备是LED上游核心技术所在，因为切入壁垒较高，目前市场份额主要被爱思强和VEECO两家占据。要想降低MOCVD价格，打破这种垄断，研制国产化设备是重中之重。近两年来，中国本土企业一直致力于实现MOCVD的国产化，也取得了一定的成绩。南昌大学副校长江风益教授介绍了南昌黄绿照明公司自主研发的MOCVD设备的进展情况，该设备为42片2英寸的单腔机型，江风益称明年有望推出生产型机型，预计产能可以达到52片。该设备取得了多项专利，例如垂直气流型MOCVD气体输运喷头，能够将反应气体提前混合均匀、然后通入反应室、保证气体正常输送；而且在气体混合充分的前提下，避免了气体之间的预反应，能够提高源利用率以及晶体质量。

　　中科院半导体研究所在MOCVD的国产化方面也取得了一定的进展，中国科学院半导体照明研发中心副主任、所长助理、研究员曾一平介绍了依托中科院半导体研究所技术开发的48片氮化物MOCVD设备样机，他认为，样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、等一系列设备性能指标实验考核，同时进行了氮化物外延工艺实验，从实验获得的基本性能指标来看，该48片样机研制已获得成功。曾一平指出，国产化MOCVD较国际大厂设备相比，成本可以降低20%，而其中降低成本的关键在于自主设计的反应室核心部件的国产化。

　　此外，德国爱思强股份有限公司研发副总裁Michael HEUKEN介绍了固态照明中的气相沉积技术，G5 HT反应器可以在600 mbar以上的高压下能以极高的速率完成高质量的氮化镓沉淀，可量产8英寸衬底也是其亮点；利用有机气相沉积(OVPD)技术生产OLED设备也是爱思强的关注产品，Michael HEUKEN称利用该设备生产的白光OLED性能表现优异，可达到28 cd/A、23 lm/W。另一大设备商VEECO也披露了公司最新动态，美国维易科精密仪器有限公司市场总监李佳在《MOCVD技术的提升是固态照明的保证》的报告中称，LED 生产过程中50%以上的成本来自于MOCVD设备，VEECO公司致力于通过技术和设备的更新以降低LED制造成本，从而推动LED在背光、照明等等更广阔领域的应用。

　　北方微电子公司副总裁丁培军介绍了两个极具市场前景也更易切入的LED相关设备——刻蚀设备和溅射设备，丁培军预计，到2014-2015年，PVD和Etch设备将成为LED生产设备市场中主要组成部分。目前ITO PVD与金属 PVD总计份额将超过整个LED上游设备市场30%，介质刻蚀、GaN与PSS 刻蚀机合计份额占比也达到了40%。

　　亚威朗光电(中国)有限公司总裁阎春晖介绍了创新的方块流明技术，他认为想要提高照明成本效率，应对现有外延技术进行改善和创新，而转型后的技术应该侧重于提高单位面积芯片的流明值，即芯片的方块流明值。方块流明技术方向能显著提升照明成本效率，能将芯片的照明成本效率从100 lm/￥提升到超过300lm/￥。

　　瑞士梅耶博格公司科技管理部（研发）主管Fabiano ASSI从性价比角度看好蓝宝石衬底，他认为高效的蓝宝石生产系统可以在保持低成本的同时，将性能提升40%。

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