| 七星电子研发太阳能光伏高效薄膜设备 | |
2012-11-21 10:39:00 中国半导体照明网 行业分类:其它 浏览 | |
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北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业，完成国内首条半导体生产线中6项关键设备的研发制造。 七星电子多年来一直承担着国家多项科技重大专项研发任务，先后进行了12英寸立式氧化炉、清洗机及气体质量流量控制器等产品的研发。 目前，七星电子已成长为我国电子专用设备龙头企业之一，是中国电子专用设备工业协会理事长单位、北京电子制造装备行业协会会长单位、SEMI行业协会会员。 在半导体行业方面： 七星电子研制的国内首台300mm立式氧化炉设备，应用于集成电路生产线90/65nm工艺中的20~1000埃氧化膜生长及退火等工艺。该设备重点解决了设备及工厂自动化、氧化炉温度场和气流场分布、颗粒控制、微环境氧含量控制等关键技术问题，采用自主研发的性能优异的MBTC温度控制系统，不仅解决了传统PID温控系统在灵活性和稳定性方面存在的不足，并且在温度场的快速建立及恢复方面具有极佳的特性。全球只有包括七星电子在内的三家企业可以制造该设备。目前，已完成300mm立式氧化炉样机研制，并在中芯国际生产线上完成了大部分的测试及工艺验证工作。 七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。该设备采用单片多腔室结构，具有占地面积小、结构紧凑、高度自动化、超强稳定性等优点。设备提供工厂集成接口，符合SEMI E15.1，完全AGV，OHT 兼容，满足SECS/GEM和HSMS接口协议。清洗后可达到：无光刻胶和聚合物残留;刻蚀通孔侧壁无铜的残留物;与铜及电介质材料如FSG、SiN等相容性;在铜表面形成保护钝化膜层;缺陷率满足65纳米技术带的要求(如颗粒指标、水印等)。清洗机设备已完成样机研制，即将进入工艺验证阶段。 在太阳能光伏行业方面： 七星电子在高效薄膜设备及工艺、晶硅自动化技术方面，已掌握核心技术，以良好的质量与服务装配了国内外多条生产线。涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、PECVD、制绒清洗机、去PSG清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。尤其在光伏大规模生产线上得到大量使用，其技术水平、产能、成本控制及自动化程度都已达到世界领先水平。 七星电子研发的SSD8571A扩散炉，采用了高精度、智能化、多点控温技术，保证了对炉内温度控制的快速稳定，确保了控温数据的快速反应以及准确性。自动压力平衡装置，使炉内外压差为定值，且可根据工艺需求改变设定，从而提高了工艺均匀性以及工艺扩展性。设备单片COO下降20%，单位综合能耗下降20%以上，设备安全运行时间实属国内领先，设备维护成本低廉。在客户现场运行的实验数据一直处于国内领先水平，甚至赶超国际一线厂商的水准。该设备实现了MES与设备端的数据交互。 同时，七星电子研发的SSP8471A管式PECVD为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。该设备具有独特的射频引入方式，且全自动运行并预留倒片接口。设备工艺均匀性高，差异小于 3%，配备了全自动上下料系统，碎片率≤0.1%(人为失误及隐痕裂片除外)。此外，UPTIME≥95% (总时间-正常维护时间-异常停机)/总时间。该设备也实现了MES与设备端的数据交互。 气体质量流量计： 七星电子是中国气体质量流量计产品的领先制造商。产品国内目标市场占有率达80%。2010-2011年，已实现燃料电池用气体流量控制器研发、投产，技术处于国际先进水平。且12英寸集成电路气体质量流量控制器也已完成研发，进入小批量生产阶段。 由七星电子自主研发的CS系列质量流量控制器产品，通过了省部级新品鉴定，该系列产品的各项技术指标均已达到国际一流标准，产品技术填补了国内空白。其中，CS200系列气体质量流量计产品在核心技术上取得了新的突破，它采用恒功率传感器、全金属密封结构、基于VCP的阀控技术、全数字信号处理和控制方法以及数字化高精度的生产标定工艺，所有设计符合SEMI标准，已经取得了CE认证。该产品目前已经在光伏行业内应用于100多条大型生产线中，得到了用户的高度认可。CS300系列产品专为半导体行业设计生产，除了具备CS200产品的性能之外，其与气体接触的零件表面均经过电化学抛光处理，粗糙度达到Ra 5μinch;与气体接触的零件表面化学成分：Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)，具有压力补偿功能，支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS气路系统。 光伏逆变器 七星电子近年进行光伏逆变器的研发与生产，公司的光伏并网逆变器满足CE标准及安规要求，并进行了德国TUV认证和我国金太阳认证，设计合理，功能全面，能效性良好。不仅拥有先进的技术水平，而且能够根据客户需求进行人性化设计，提供高端的用户体验和品质保证。 七星电子于2005年加入SEMI协会，多年来大力支持SEMI主办的各项活动，通过参加SEMICON CHINA展会及各种研讨会等进行行业交流。此外，七星电子积极参与SEMI关于行业标准的制定，并以SEMI标准指导产品的研发和设计，得到了行业内的广泛认可，不断提高产品的国际化水平。一直以来，七星电子密切关注行业动向与产业发展形势。通过积极参加SEMI主办的SEMICON CHINA等行业盛会以及具有前瞻性的各种专业研讨会，保持与行业内的交流与沟通，从而紧跟国际尖端技术潮流。 关于北京七星华创电子股份有限公司: 北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)成立于2001年，于2010年3月在深交所成功上市(股票代码:002371)，是一家以集成电路制造工艺技术为核心，以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主营业务，集研发，生产，销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。 七星电子是国内重要的电子专用设备供应商，在集成电路制造设备、太阳能电池制造设备、TFT-LCD面板制造设备、电真空制造设备、锂离子电池设备和气体质量流量计主要技术和关键技术上是领军企业。 七星电子一直坚持”用心做事、把事做好、把事做对”的经营理念，为提高国产设备的国际竞争力而不懈努力，致力于成为国际知名的电子专用装备制造商。 | |
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