| 成都企业自主研发LED曝光机 | |
2012-12-11 9:51:19 双流网 行业:其它 浏览 | |
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日前，一种拥有自主知识产权的紫外线LED曝光机日前在位于成都西航港开发区的成都欧盛光电科技有限公司诞生，并提交申请了国家3项国家专利。该曝光机一问世，立即在国内外引起强烈反响，首台设备，已由广东某企业采购。目前已收到200台订单，预计2013年可实现销售收入7000万元。 曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，上世纪70年代后，广泛应用于半导体集成电路制造业，它是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光。长期以来，国内高端曝光机全部依赖进口，为此，国家将集成电路半导体制造设备研发列入重大专项(国家02专项)实施，高端曝光机是其中重要的设备。 据国外权威机构预测，全球曝光机市场规模大约在50亿美元，未来5年，紫外线LED曝光机市场将以每年30%的速度增长。 | |
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