| Veeco推出三款新系列氮化镓MOCVD设备 | |
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Veeco公司日前宣布推出3款新型市场领先的TurboDisc®金属有机化学气象沉积设备(MOCVD)，用于生产高亮度发光二级管(LEDs): TurboDisc MaxBright® M™， TurboDisc MaxBright MHP™以及TurboDisc K465i HP™。 MaxBright M：更紧凑的模块化Veeco多反应腔设备。与MaxBright相比MaxBright M能提供更好的服务便利性，厂房面积利用率提高15%。该机型具有更好的布局配置灵活性以适应不同客户的场地要求。 MaxBright MHP：模块化的“M”机型中的高性能版。MaxBright MHP的片内波长均匀性比MaxBright提高了20%。由于技术进步，热性能和流动性能得到改善，因此良率得以提高。与MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。 K465i HP：是Veeco的单反应腔MOCVD设备的高性能版。与K465i相比片内波长均匀性提高20%而使用成本更低。 据了解，这些新设备均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圆生长。现有的MaxBright和K465i设备都能很容易地现场升级到高性能版。所有Veeco的MOCVD设备都拥有维护需求低的TurboDisc技术，从而具有最长的设备连续生产时间和最高产量。 Veeco工艺设备执行副总裁William J. Miller博士表示：“这一系列新产品为我们客户的资金投资以及在客户独特的生产环境下设备更好运行提供了极大的灵活性。MaxBright M, MaxBright MHP以及K465i HP的创新源于我们倾听了客户的意见和专注于改善设备性能，从而推动了产量和良率的提高。产量和良率正是我们客户成功的2个关键因素。” Veeco主席&首席执行官John R. Peeler 补充道：“基于我们在业内领先的技术和自动化的专业程度而推出的这套新产品系列，可以帮助降低生产成本，从而加速全球LED照明普及。 Veeco公司将继续致力于提供业界最大容量，最高产量和最低使用成本的MOCVD设备。” 据IMS调查，2010年推出的K465i设备是该年度最畅销的MOCVD设备。2011年推出的MaxBright是去年最畅销的机台。化合物半导体杂志最近为Veeco公司颁发了“化合物半导体制造奖”，评价道“MaxBright设备是化合物半导体制造业在过去一年中的最大突破”。
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