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中晟光电大型MOCVD设备ProMaxyTM正式进入市场
2013-03-22来源:中国半导体照明网 作者： 行业：其他
2013年3月19日，中晟光电设备(上海)有限公司正式发布大型 MOCVD 设备 ProMaxyTM 进入市场。已有客户接受多腔 ProMaxyTM 并调试进展顺利。此外，多家客户对 ProMaxyTM完成了现场验机与评估。
ProMaxyTM专注于超高亮度 LED 的大规模生产，具有目前世界上最高的系统产能， 264 片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸;具有最低的单片外延生产成本;具有良好的波长均匀性及大规模外延生产所需的各项关键性能。
ProMaxyTM 提供机台配置的灵活性， 客户可以根据需要配置 1-4 个反应腔，各个反应腔独立操作控制，提高设备效率和生产的灵活性。
ProMaxyTM适合大规模生产多种器件，包括蓝白光 LED、绿光LED、紫外光 LED 以及功率器件等,且简单更换工艺程序即可实现不同器件的生产。
公司董事长兼执行长陈爱华博士指出：“中晟推出 ProMaxyTM旨在为我们的客户提供最优的拥有价值和能发挥客户自身优势的设备平台，为半导体照明高速发展提供新的活力。”
客户也充分肯定了ProMaxyTM的技术方向和设计上的世界先进性。汉莱总经理孙明表示，“中晟 ProMaxyTM MOCVD在两周内便完成安装，第二炉便达到 85%的亮度指标。经过进一步的调试和验证，ProMaxyTM生产出来的 1023 芯片在 20mA 已达 155lm/W，装入 12W 的 T8灯管，整灯光效仍超过 140lm/W。 ”
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