概念
通俗来讲,LED和半导体激光器等的发光部分的半导体层,是在基板上生长结晶而成。采用的基板根据LED的发光波长不同而区分使用。如果是蓝色LED和白色 LED等GaN类半导体材料的LED芯片,则使用蓝宝石、SiC和Si等作为基板,如果是红色LED等采用AlInGaP类材料的LED芯片,则使用 GaAs等作为基板。
因LED发光波长而使用不同基板的原因是为了选择与LED发光部分——半导体结晶的晶格常数尽量接近的晶格常数的廉价基板材料。这样做晶格常数的差距(晶格失配)就会缩小,在半导体层中阻碍发光的结晶缺陷的可能性就会减少。而且能降低LED芯片的单价。另外,蓝紫色半导体激光器等电流密度和光输出密度较大的元件,则采用昂贵的GaN基板。GaN基板还用于部分蓝色LED。
底板剥离方法示例
欧司朗的做法是在蓝宝石底板上形成GaN类结晶层,粘帖金属反射膜,然后再粘帖作为支持底板的Ge晶圆。之后,利用激光照射溶解掉GaN类结晶层与蓝宝石底板的界面部分,剥离蓝宝石底板。
近年来,为了增加从LED芯片中提取光线,在基板上形成半导体结晶层后,将基板张贴到其他基板上的技术已经实用化。在粘贴到其他基板上时,与半导体结晶层之间的界面上设置了光的反射层。反射层具有反射发光层朝向基板侧的光线,将其提取到LED表面侧的效果。除了已用于红色LED外,最近蓝色LED等 GaN类半导体LED芯片也扩大了采用。采用GaN类半导体材料的LED还有不张贴基板,使之保持剥离状态的方法。
这些方法在外形尺寸较大的LED芯片上较为有效。大尺寸芯片存在着芯片内发生的光射出芯片外时的光径变长,导致光在这一过程中发生衰减的问题。该问题可通过张贴基板解决。