记者获悉，中微半导体设备(上海)有限公司(下称中微半导体)获得国家集成电路基金4.8亿元投资。这是继长电科技后，国家集成电路基金出手的第二次投资;也是上海半导体行业获得的第一笔国家基金投资。
据了解，中微半导体2004年成立，是国内首家加工亚微米及纳米级大规模集成线路关键设备的公司。该公司总部位于浦东金桥出口加工区(南区)，拥有2.8万平方米的厂区，内设洁净室、生产、研发等专属区域。去年12月30日，金桥集团位于临港综合区的“上海临港IC与智能装备产业示范园区”正式揭牌，中微半导体成为首批入驻的三家企业之一，为其进一步扎根浦东发展提供了空间。
中微半导体主要的产品为等离子刻蚀机，其28nm-15nm的耦合等离子体介质刻蚀机去年获得了中国国际工业博览会金奖，产品出口额占我国泛半导体设备出口额的仅8成，拥有台积电、英特尔等客户。
上海也积极推动集成电路这一“国家战略”，已经拥有较为完备的产业链布局。“集成电路产业可以被视作是‘国家战略’，产业基金是进一步布局的具体举措。浦东此前已推荐过一些项目纳入产业基金的重点关注目录。”浦东新区经济和信息化委员会副主任张爱平表示，目前，浦东既有锐迪科、展讯通信、中芯国际、华力微电子等芯片制造企业，又拥有中微半导体、盛美半导体等上下游设备制造企业，产业链相对完备，“中微半导体成为国家集成电路产业投资基金首个完成投资的项目，有望奠定浦东在国内集成电路的产业地位，成为全球集成电路产业崛起的高地。”
