外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。
其实外延片的生产制作过程是非常复杂的,在展完外延片后,下一步就开始对LED外延片做电极(P极,N极),接着就开始用激光机切割LED外延片(以前切割LED外延片主要用钻石刀),制造成芯片后,在晶圆上的不同位置抽取九个点做参数测试。
① 主要对电压、波长、亮度进行测试,能符合正常出货标准参数的晶圆片再继续做下一步的操作,如果这九点测试不符合相关要求的晶圆片,就放在一边另外处理。
② 晶圆切割成芯片后,100%的目检(VI/VC),操作者要使用放大30倍数的显微镜下进行目测。
③ 接着使用全自动分类机根据不同的电压,波长,亮度的预测参数对芯片进行全自动化挑选、测试和分类。
④ 最后对LED芯片进行检查(VC)和贴标签。芯片区域要在蓝膜的中心,蓝膜上最多有5000粒芯片,但必须保证每张蓝膜上芯片的数量不得少于1000粒,芯片类型、批号、数量和光电测量统计数据记录在标签上,附在蜡光纸的背面。蓝膜上的芯片将做最后的目检测试与第一次目检标准相同,确保芯片排列整齐和质量合格。这样就制成LED芯片(目前市场上统称方片)。 在LED芯片制作过程中,把一些有缺陷的或者电极有磨损的芯片,分捡出来,这些就是后面的散晶,此时在蓝膜上有一些不符合正常出货要求的晶片,也就自然成了边片或毛片等。
接着使用全自动分类机根据不同的电压,波长,亮度的预测参数对芯片进行全自动化挑选、测试和分类。
1. LED芯片测验
镜检:材料表面能否有机械损伤及麻点麻坑lockhill芯片尺寸及电极大小能否契合工艺要求电极图案能否完全。
2. LED扩片
因为LED芯片在划片后仍然排列严密间距很小(约0.1mm),不利于后工序的操作。采取扩片机对黏结芯片的膜进行扩大,使LED芯片的间距拉伸到约0.6mm。也能够采取手工扩大,但很容易造成芯片掉落浪费等不良问题。
3. LED点胶
在LED支架的相应地位点上银胶或绝缘胶。关于GaAs、SiC导电衬底,具备背面电极的红光、黄光、黄绿芯片,采用银胶。关于蓝宝石绝缘衬底的蓝光、绿光LED芯片,采取绝缘胶来固定芯片。
工艺难点在于点胶量的控制,在胶体高度、点胶地位均有具体的工艺要求。因为银胶和绝缘胶在贮存和运用均有严厉的要求,银胶的醒料、搅拌、运用时间都是工艺上必需注重的事项。
4. LED备胶
和点胶相反,备胶是用备胶机先把银胶涂在LED背面电极上,而后把背部带银胶的LED安装在LED支架上。备胶的效率远高于点胶,但不是一切产品均实用备胶工艺。
5. LED手工刺片
将扩大后LED芯片(备胶或未备胶)安置在刺片台的夹具上,LED支架放在夹具底下,在显微镜下用针将LED芯片一个一个刺到相应的地位上。手工刺片和自动装架相比有一个益处,便于随时改换不同的芯片,实用于须要安装多种芯片的产品。
6. LED自动装架
自动装架其实是结合了沾胶(点胶)和安装芯片两大步骤,先在LED支架上点上银胶(绝缘胶),而后用真空吸嘴将LED芯片吸起移动地位,再安置在相应的支架地位上。自动装架在工艺上重要要相熟设备操作编程,同时对设备的沾胶及安装精度进行调整。在吸嘴的选用上尽量选用胶木吸嘴,防止对LED芯片表面的损伤,特殊是蓝、绿色芯片必需用胶木的。因为钢嘴会划伤芯片表面的电流分散层。
7. LED烧结
烧结的目标是使银胶固化,烧结要求对温度进行监控,防止批次性不良。银胶烧结的温度一般控制在150℃,烧结时间2小时。依据实际状况能够调整到170℃,1小时。绝缘胶一般150℃,1小时。
银胶烧结烘箱的必需按工艺要求隔2小时(或1小时)打开改换烧结的产品,中间不得随意打开。烧结烘箱不得再其他用处,防止污染。
8. LED压焊
压焊的目标是将电极引到LED芯片上,完成产品内外引线的连接工作。LED的压焊工艺有金丝球焊和铝丝压焊两种。铝丝压焊的过程为先在LED芯片电极上压上第一点,再将铝丝拉到相应的支架上方,压上第二点后扯断铝丝。金丝球焊过程则在压第一点前先烧个球,其他过程相似。压焊是LED封装技术中的关键环节,工艺上重要须要监控的是压焊金丝(铝丝)拱丝外形,焊点外形,拉力。
9. LED封胶
LED的封装重要有点胶、灌封、模压三种。基础上工艺控制的难点是气泡、多缺料、黑点。设计上重要是对材料的选型,选用结合良好的环氧和支架。
LED点胶TOP-LED和Side-LED实用点胶封装。手动点胶封装对操作程度要求很高(特殊是白光LED),重要难点是对点胶量的控制,因为环氧在运用过程中会变稠。白光LED的点胶还存在荧光粉沉淀导致出光色差的问题。
LED灌胶封装Lamp-LED的封装采取灌封的情势。灌封的过程是先在LED成型模腔内注入液态环氧,而后插入压焊好的LED支架,放入烘箱让环氧固化后,将LED从模腔中脱出即成型。
LED模压封装将压焊好的LED支架放入模具中,将上下两副模具用液压机合模并抽真空,将固态环氧放入注胶道的入口加热用液压顶杆压入模具胶道中,环氧顺着胶道进入各个LED成型槽中并固化。
10. LED固化与后固化
固化是指封装环氧的固化,一般环氧固化条件在135℃,1小时。模压封装一般在150℃,4分钟。后固化是为了让环氧充分固化,同时对LED进行热老化。后固化关于提高环氧与支架(PCB)的粘接强度非常重要。一般条件为120℃,4小时。
11. LED切筋和划片
因为LED在生产中是连在一起的(不是单个),Lamp封装LED采取切筋切断LED支架的连筋。SMD-LED则是在一片PCB板上,须要划片机来完成分离工作。
12. LED测试
测试LED的光电参数、测验外形尺寸,同时依据客户要求对LED产品进行分选。