与激光剥离技术相比,上海芯元基的化学剥离技术具有以下特征:一:工艺简单,成本低,适合大规模量产;二、避免了激光剥离过程中激光能量和冲击对外延层的损伤;三、结合MEMS技术,先剥离,再键合,彻底释放器件外延结构中的应力。
据了解,上海芯元基由以郝茂盛博士为核心的LED行业资深专家于2014年10月创建,公司专注于具有自主知识产权和巨大产业前景的第三代半导体(GaN)材料和高端薄膜结构LED芯片的研发和量产,已经完成了从生长衬底、外延技术、芯片工艺、到器件封装全产业链的专利布局,打破了国际巨头对GaN基电子器件和薄膜结构LED芯片的技术垄断,对发展我国第三代半导体材料技术意义重大。