IMEC已经证明:氮化镓层均匀性的显著提高和威科推进系统的运行重复性大大提高了发电设备产量。单个晶片反应器采用威科公司专有的TurboDisc技术,该技术能提供卓越的膜均匀性,良好的运行控制和比批处理反应堆更优的缺陷水平。
IMEC智能系统和能源技术的高级副总裁Rudi Cartuyvels说:“在与硅基氮化镓相关的产业框架中,在过去的四年间,威科和IMEC合力提高硅衬底氮化镓外延片的质量。我们的最终目标是生产下一代高功率开关器件。2016年我们已经设定了非常高的氮化镓器件产量和可靠性目标,我们期待着与威科公司实现这些目标。”
IHS的研究表明产业需求日益增长,需要更小、更节能的电源ICs。这一点,反过来,推动使用先进的材料来改进功率器件。硅基氮化镓加上完善的工艺方案,如单晶氮化镓 MOCVD是改进这些功率器件发展的关键。
威科MOCVD运营的高级副总裁兼总经理吉姆·简森说:“我们非常高兴与IMEC合作。全球对高效能、小外形因素,强可靠性的先进电力电子产品的需求量越来越大。我们相信,我们推动单晶片系统的技术将使IMEC实现功率器件的目标,有助于使这些先进的设备加速进入市场。”
(杜春晓 译)