每个产品集群包括两个多晶圆AIX 2800G4-TM反应器,衬底基座配置为15x4英寸。经最近增进的系统设计,这个平台可提供最高的设备良率和产能、高前驱物和氢化物效率以及每块晶圆最低成本,如南昌凯迅光电有限公司这类的客户可从中得益。
“由于近期市场对ROY LED和太阳能电池部件的需求畅旺,我们正在寻求可快速提升产能的方案。经过对当前基于砷化镓工艺的MOCVD技术进行详尽研究后,我们选定AIXTRON爱思强为独家供应商,利用他们久经考验及高性能的AIX 2800G4-TM系统生产晶圆。” 南昌凯迅光电有限公司总经理张银桥先生表示:“由于这个系统的效率极高,我们期待可从它的低运营成本中得益。”
AIXTRON爱思强首席执行官Martin Goetzeler评论道:“能与又一家拥有光明前景的半导体制造商展开合作,我们感到非常荣幸,希望我们的技术解决方案能助力客戶取得长足发展。”