当前位置: 首页 » 资讯 » 产业资讯 » 第三代半导体 » 正文

【IFWS 2016】宇治原徹: 高质量碳化硅的溶液生长研究

放大字体  缩小字体 发布日期:2016-11-19 来源:中国半导体照明网浏览次数:440
   氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)等为代表的第三代半导体材料,具有高击穿场强、高热导率、高电子饱和速率、高抗辐射能力等优越性能,是固态光源和电力电子、微波射频器件的“核芯”,在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、高速轨道交通、新能源汽车、消费类电子等领域有广阔的应用前景,可望成为支撑信息、能源、交通、国防等发展的重点新材料,正在成为全球半导体产业新的战略高地。
 
  11月15日-17日,2016中国(北京)跨国技术转移大会暨第三代半导体国际论坛(以下简称“跨国技术转移大会”)在北京国际会议中心举行,第十三届中国国际半导体照明论坛并与之同期同地举行。其中,在11月17日召开的“碳化硅电力电子器件技术分会”现场,聚集了来自全球各地顶尖专家,高质量报告密集发布,亮点十足。
日本名古屋大学教授宇治原徹分享了“高质量碳化硅的溶液生长”研究报告
  会上,来自日本名古屋大学教授宇治原徹分享了“高质量碳化硅的溶液生长”研究报告。
 
  宇治原徹表示。如转换器和逆变器一般用于电力转换的电力电子设备是有效利用电能的核心技术。 SiC电子器件被认为是成为用于各种应用中的下一代低损耗功率转换设备的关键部件。
 
  现有碳化硅晶体生长技术是依靠播种升华增长方法实行的。如今,现在市场上有几乎微管密度为零的4和6英寸的的晶片。
 
  然而,在当前的技术中,晶体生长仍然容易出现高密度的扩展缺陷。因此减少这些缺陷是改善SiC器件性能的最优先问题。
 
  液生长法被认为是产生高质量SiC晶体的有力方法。宇治原徹还在报告中阐述了溶液生长法的一些积极作用。对于块体晶体生长,通常执行顶部晶种溶液生长(TSSG)方法。在该方法中,晶体由碳坩埚中的硅基溶剂生长而成,过程中碳元素从坩埚进入溶剂。
 
  然而缺陷修复的效果细节依然不清楚。最近,我们的X射线形貌实验揭示了穿透脱臼的愈合机制。在演讲中,他回顾脱位复位的机理、位错密度的控制以及“超高质量”的可能性。
 
【版权声明】本网站所刊原创内容之著作权为「中国半导体照明网」网站所有,如需转载,请注明文章来源——中国半导体照明网;如未正确注明文章来源,任何人不得以任何形式重制、复制、转载、散布、引用、变更、播送或出版该内容之全部或局部。
 
[ 资讯搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]

 
0条 [查看全部]  相关评论

 
推荐图文
点击排行
关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 诚聘英才 | 广告服务 | 意见反馈 | 网站地图 | RSS订阅