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【IFWS 2016】陆海: 基于宽禁带半导体材料的可见盲和日盲光电探测器的研究进展

放大字体  缩小字体 发布日期:2016-11-21 10:45   来源:中国半导体照明网  浏览次数:399
   11月15日-17日,2016中国(北京)跨国技术转移大会暨第三代半导体国际论坛(以下简称“跨国技术转移大会”)在北京国际会议中心举行,第十三届中国国际半导体照明论坛并与之同期同地举行。其中,11月17日上午举行的第三代半导体与固态紫外器件技术分会专家阵容强大,看点十足。
 
  该分会主持人由中科院苏州纳米所研究员、博士生导师、纳米测试中心主任,苏州纳维科技有限公司董事长,中组部国家千人计划、国家杰出青年基金获得者徐科和中科院半导体研究所所长助理、研究员张韵及美国佐治亚理工学院教授Russell DUPUIS共同担任。
 
  半导体照明是第三代半导体技术所实现的第一个突破口,如今LED发光技术的进步现已突破传统的照明概念,并已开拓、发展LED发光新技术领域。沿长波方向,已从蓝光拓宽到绿光、黄光、红光,发展“超越照明”,开拓在生物、农业、医疗、保健、航空、航天和通信等领域应用;沿短波方向,现已发展高效节能、环境友好、智能化的“紫光光源”,期望逐步取代电真空紫外光源,引领紫外技术的变革,开拓紫光应用广阔领域。
 
  有数据显示,紫外线LED应用于光固化市场产值2021年将达1.95亿美元, 2020年紫外线LED光固化模组的渗透率将来到50~60%。紫外LED杀菌与净化应用的市场产值2021年将达2.57亿美元。
南京大学陆海教授

南京大学陆海 教授
 
  会上,来自南京大学陆海教授分享了“基于宽禁带半导体材料的可见盲和日盲光电探测器的研究进展”研究报告。
 
  陆海生于1974年,于1996年和1999年在南京大学物理系获学士、硕士学位;于2003年在美国康奈尔大学(Cornell University)电子与计算机工程系获博士学位,师从美国工程院院士Lester Eastman教授。于2004年,受聘于美国通用电气公司(GE)研发中心任高级研究员;于2006年9月归国任教于南京大学物理系及电子科学与工程学院,现任南京大学特聘教授,兼任南京微结构国家实验室(筹)主任研究员(PI)。 主要从事宽禁带半导体材料和器件研究,获得多项有影响力的成果。近年来重点开展GaN基高功率电子器件、深紫外探测器件、及新型氧化物透明薄膜晶体管研究。已发表学术论文两百余篇,其中包括SCI论文180余篇。2007年入选教育部新世纪人才支持计划;2008年获得国家杰出青年科学基金资助;2012年入选教育部长江学者特聘教授。
 
  他在报告中介绍到,由于宽带隙半导体的带隙能量大,电子饱和速率高,耐辐射性和耐温性强,其在紫外探测器中的应用引起了广泛的关注。光电探测器具有许多应用潜质,包括火焰检测,环境监测,化学/生物药剂监测和太阳物理学等应用。
 
  他介绍了,近期在材料生长和基于三族氮化物半导体材料和 SiC的紫外光电探测器的设计和制作。相关的器件包括:制作在具有增强量子效应的蓝宝石衬底上的 GaN光电探测器,制作在低位错密度的同质外延的 GaN上的大面积 GaN MSM雪崩光电二极管, 具有超低暗电流的AlGaN基 MSM太阳盲区光电探测器,具有高量子效应的 AlGaN基 p-i-n太阳盲区光电探测器,高增益的AlGaN基太阳盲区雪崩光电二极管,具有单光子计数能力的 SiC雪崩光电二极管。
 
  他还表示,单光子探测APD和合作单位研制了单光子探测模块,总体来说非常好,性能比单个器件还要好,跟一些用户,做紫外激光雷达来讲定义就是我们可用的,模块马上可以用。宽禁带半导体制备紫外光电探测器优选的材料,氮化镓常规结构的紫外探测器技术上很成熟,主要是批量生产和推广应用的问题,做氮化物半导体APD来讲主要是材料影响,碳化硅材料非常好,目前做出APD的性能已经很好,已经可以进入到应用阶段。
 
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