政策：三项优惠政策支撑我国半导体设备发展
从2014年至今，国家发布了三项与半导体设备相关的政策文件。其一是《关于调整重大技术装备进口税收政策的通知》，对符合规定条件的国内企业为生产国家支持发展的重大技术装备而确有必要进口部分关键零部件免征关税和进口环节增值税。在这方面，集成电路、LED、太阳能电池生产设备中的16项关键设备被列入其中。此项政策一出，也为我国半导体照明产业在装备产业发展提供了便利，也加速了装备国产化的进程！
第二是《关于进一步鼓励集成电路产业发展企业所得税政策的通知》，规定对符合条件的集成电路专用设备企业，在2017年前实现获利的，自获利年度起，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。当然，从税收政策上对集成电路设备企业给予照顾，也在一定程度上减轻企业税负，鼓励企业快速发展。
第三是《关于开展首台（套）重大技术装备保险机制试点工作的通知》，规定中对于制造《目录》内装备、且投保“综合险”或选择国际通行保险条款投保的企业，中央财政给予保费补贴。实际投保费率按3%的费率上限及实际投保年度保费的80%给予补贴，补贴时间按保险期限据实核算，原则上不超过3年。目前共有13项半导体装备列入目录。此项整的出台也为国产设备在首台套应用和推广上极大的提高设备企业和应用企业的信心。
除了上述三大扶持政策以外，国家已经启动的1200亿规模的国家集成电路产业发展投资基金，在重点扶持晶圆设计、制造、封装领域的同时，也将扶持上游生产设备领域。通过国家大基金的支撑，极大的促进我国半导体产业重大装备国产化。
现状：除MOCVD设备在试用中，其余设备基本实现规模化应用
中国电子专用设备工业协会统计显示，2014年我国半导体设备行业35家主要设备制造商共完成39.63亿元销售收入，同比增长31.5%；实现利润8.48亿元，,同比增长13.8%;预计2015年销售收入将达到50亿元左右, 同比增长25%。
在国家政策的推动下，在02专项和国家集成电路发展基金的支持下，更多的国产集成电路设备将进入大生产线，国产集成电路设备的国内外市场将继续得到增长；国产LED设备将全面进入六家LED制造商的生产线，加快LED设备国产化进程；太阳能电池生产设备将继续小幅增长。
LED设备方面，从蓝宝石材料开始，一直到PSS、外延、芯片端，再到最后的减薄等工艺，目前，国产设备已经能够很好地代替进口设备。
按工序的具体顺序来看，浙江晶盛生产的90公斤蓝宝石单晶炉，苏州赫瑞特、湖南宇晶、唐山晶玉、中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称“45所”)等生产的多线切割机，中晟光电、中微半导体的MOCVD设备，45所的清洗设备、光刻机，北方微电子的PECVD设备、ITO薄膜溅射设备、AlN薄膜溅射设备、GaN ICP刻蚀机、PSS ICP刻蚀机，深圳矽电半导体设备有限公司的全自动点测设备，45所、大族激光、苏州德龙的激光划切机，45所的自动粘片机、自动引线键合机等等，各项技术指标均已接近或超过国外主流机型，部分型号已经成为主流企业生产线上的主力量产机型。
“从最开始的甩干机、退火炉、清洗台、显微镜等简单设备到激光切割机、干法蚀刻机、匀胶显影设备以及最近出现的MOCVD等关键设备，国产设备已经在国内市场站稳了脚跟。”君盛投资管理有限公司投资总监张为表示，“目前除了MOCVD设备还在试用中，其他设备基本得到了规模化的应用，已经服务于生产之中。”
问题：国产半导体设备市占率不高，推广十分艰难
经过十余年的努力，国内设备生产企业在部分领域取得了突破，获得了较高的市场份额，但是还有很多环节的市场主要被国外企业占据。
国产半导体设备的市场占有率并不高，以集成电路设备为例，目前市占率六分之一都不到。而在LED设备行业，目前国内多家企业已经生产出MOCVD设备，并且有多家外延芯片企业正在试用中，重大装备国产化的希望之星已然诞生，正在逐渐形成星火燎原之势。
而在其他设备如研磨机、清洗机、甩干机、蒸镀机、裂片机、点测机、分拣机等,市场上虽有部分国产设备,但一般都很难超过30%的份额。如点测机分选设备，45所及深圳矽电都在积极推进，但国产设备的市场份额还是不超过10%。
专家认为，以上设备除研发成本较高、研发周期较长、技术更新之快外，市场推广也十分艰难。国产设备没有量产的检验及反馈后的改进，因此在稳定性上略有不足，也造成芯片企业对国产设备信心不足。很多企业送样机进行试产较为顺利，但是一到批量生产就面临重重困难。
