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瑞典查尔姆斯理工大学副教授Jie SUN:GaN光电器件CVD石墨烯透明电极研究进展

放大字体  缩小字体 发布日期:2017-11-02 来源:中国半导体照明网浏览次数:423
   2017年11月1日,第十四届中国国际半导体照明论坛在北京·顺义·首都机场希尔顿酒店隆重开幕。本次论坛由由北京市顺义区人民政府、第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)和国家半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)主办,中关村科技园区顺义园管理委员会、北京半导体照明科技促进中心、北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司承办,得到了科技部、发改委、国标委和北京市科委等主管部门的大力支持。会期两天半,期间举行全体大会2场,技术分会16场,产业峰会3场,专题分会或活动7场,来自美国、英国、德国、意大利、香港、台湾等国家或地区的百余名半导体相关研究机构、企业技术专家担任演讲嘉宾。
  在2日下午,东旭光电科技股份有限公司、湖州明朔光电科技有限公司协办的新型显示与照明技术分会场火爆,重量级前沿报告应接不暇。其中来自瑞典查尔姆斯理工大学副教授Jie SUN带来了关于GaN光电器件CVD石墨烯透明电极研究进展,让与会代表拍手称赞!
 
  石墨烯传统上是通过石墨机械剥落制备的,且大面积单层石墨烯的制备很有挑战性。为此,化学气相沉积(CVD)在过渡金属上石墨烯最近被发展。自2009年以来,在Chalmers我们已经在金属箔(Cu,Pt,Ta等)上生长了单层石墨烯,在硅衬底上蒸镀了金属薄膜.9-9 CH4或C2H2作为反应物,石墨烯通过商业直冷式Aixtron系统生长。通过湿化学法蚀刻铜或更环保的电化学气泡分层,石墨烯可以转移到其他基底,如SiO2 / Si。通过场效应和霍尔效应测试,电子和空穴的载流子迁移率约为3000 cm2 /(Vs)。一些器件显示出迁移率为?5000 cm2 /(Vs)。
  Jie SUN教授表示,我们在做无金属催化剂时,直接用CVD法在绝缘子上生长石墨烯。沉积的石墨烯是纳米晶体、面积大且均匀。尽管与催化石墨烯相比,其迁移率(40 cm2 /(Vs))较低,但其透明度(97%)和电导率(1-几kΩ/□无有意掺杂)与标准石墨烯相似,使得无转印石墨烯非常有望应用于透明电子器件和分子电子学。石墨烯可以在耐高温的任意电介质上生长。我们提出了一种新型的非催化CVD(与金属上的催化石墨烯CVD相对)的机理来解释我们的实验结果。催化和非催化的石墨烯都可以悬浮,有希望用于纳米机电系统(NEMS)。
 
  同时,Jie SUN教授还介绍了CVD石墨烯发现其在GaN基光电子学中的应用。GaN化合物广泛用于发光二极管(LED),光谱覆盖黄色到紫外线光。我们首先研究了用CVD生长的石墨烯作为悬浮透明电极的有序和密集的GaN发光纳米棒。作为氧化铟锡(ITO)的替代品,石墨烯避免了复杂的加工,填补纳米棒和随后的表面平整之间的间隙,并提供高导电性改善载流子注入。与传统的平面GaN - 石墨烯二极管相比,制造的器件的光输出功率提高了32%,这主要是由于发光面积扩大了很多。
 
  然而,尽管石墨烯具有良好的导电性和透明性,但是由于其与GaN费米能级的失配,它们的电接触不是欧姆的,导致器件在实际应用中不能承受高工作电压。为了进一步了解此问题,CVD石墨烯用在(平面)GaN LED上作为透明电极,其中7-10nm的ITO接触层插入在石墨烯和p-GaN之间以增强空穴注入.,此器件具有正向电压和透明的特点,相比于使用传统240nm ITO的器件具有更好的紫外线性能。这一结果表明,导通电压的问题确实归因于差的石墨烯-GaN接触,这可以通过插入薄的ITO中间层来解决。
 
  然而,由于铟资源稀缺,ITO夹层解决方案不可持续。因此,我们建议通过CVD直接在GaN上沉积石墨烯。在高温和高真空CVD室中生产石墨烯-GaN界面,从而改善电性能。此外,可以通过石墨烯的原位掺杂,其将进一步调节费米能级以匹配p-GaN。而且,这是一种可重现和可扩展的技术,摆脱了与CVD石墨烯复杂转移过程相关的所有不确定性和不可复制性。本文将介绍一些关于直接生长方法的初步结果并且表明其在GaN光电子学实际工业应用中的前景光明。
 
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