2017年11月1日-3日,第十四届中国国际半导体照明论坛(SSLCHINA2017)暨 2017 国际第三代半导体论坛(IFWS 2017)在北京顺义隆重召开。论坛由国家半导体照明工程研发及产业联盟、第三代半导体产业技术创新战略联盟、北京市顺义区人民政府主办,中关村科技园区顺义园管理委员会、北京半导体照明科技促进中心和北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司承办。论坛同时得到了科技部、发改委、国标委和北京市科委等主管部门的大力支持。
11月2日下午,SSLCHINA 2017之材料与装备技术分会如期举行。中微半导体设备(上海)有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、德国爱思强股份有限公司、维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司为本次分会提供了协办支持。
美国密歇根大学教授Pei-Cheng KU,挪威科学技术大学教授、挪威科学技术院院士Helge WEMAN,北京大学教授陈志忠、南昌大学教授刘军林、中微(上海)有限公司首席技术员胡建正、北京北方华创微电子装备有限公司第一刻蚀BU副总经理刘利坚,德国爱思强股份有限公司副总裁Michael HEUKEN、美国维易科精密仪器有限公司市场营销总监Mark MCKEE等来自中外的强势力量联袂带来精彩报告。中科院半导体研究所研究员、中科院半导体照明研发中心副主任王军喜,河北工业大学教授毕文刚共同主持了本次分会。
作为MOCVD设备的巨头之一,美国维易科精密仪器有限公司市场营销总监Mark MCKEE带来了关于MOCVD最新市场及技术进展的报告。智能照明、传感技术,电脑显示器、云计算、激光、太阳能技术、园艺等应用领域的发展推动着MOCVD技术不断向前发展,同时市场增长表现强势。其中,微型LED显示应用方面有极大的增长,并且有非常大的潜力,随着技术壁垒的突破,会有一个加速的增长,包括手机、电视、智能手表等都会用到微型LED显示,下一代LED技术非常让人期待。
微型LED显示的价格和成本需要继续下降才能得到更好地应用,Mark MCKEE表示,非常希望以最低的成本得到最高的性能表现,一方面要提高效率,在一些关键领域发力,比如均一性方面需要和所有的供应商合作,确保生产出来的微型LED能满足市场的需求和要求。还需要增加生产线和提高设备的效率,才能以量产的方式降低价格,推动行业进一步发展。
从MOCVD设备来看,成本既有资本的上涨、耗材成本、也有人力等成本,未来需要实现自动化,才可以更好地降低成本。同时还要减少生产过程中的损耗和故障率,让生产的可重复性大幅度提高。结合薄膜的量产问题,Mark MCKEE指出,不同领域不同应用,对参数的要求不一样,指标有高有低,会有差别,因此,考虑缺陷等问题时,需要看一下对应的应用领域,才能进行精准的确定。
此外,设备的均一性非常重要,Mark MCKEE具体分享了当前MOCVD生产线技术方面的改进,并展示了关于微型LED的新技术。Mark MCKEE表示,微型LED展现了非常强的增长趋势,未来5-7年将会逐步占据市场份额,维易科有量产的解决方案和技术,也正在研究更加大型的生产线。随着技术的不断成熟改进,会有不同有独特技术的公司出现,未来维易科会积极与其他公司合作。
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)