华芯半导体依靠AIXTRON技术实现VCSEL生产

德国黑措根拉特，2018年9月25日 — 全球领先的半导体行业沉积设备供应商AIXTRON爱思强股份有限公司（法兰克福证券交易所：AIXA）今日宣布，华芯半导体科技有限公司已采购一台AIX 2800G4-TM MOCCVD用于激光二极管的生产。作为中国VCSEL（垂直腔面发射激光器）芯片专家，华芯半导体将于2018年第四季度收到其首台AIXTRON机台。全自动化的行星式反应器®将以8x6英寸的配置实现VCSEL激光器的大规模量产。

AIX 2800G4-TM机型已经确立了应用于3D感应的VCSEL及其他激光二极管大规模生产的领先地位。行星式反应器®的概念不仅最大程度保障了高性能芯片的良率，而且也保证了外延片的均匀性以提供无与伦比的生产力。除了每台机台优良的再现性之外，客户也赞赏了多个机台间绝佳的重复性。此外AIX 2800G4-TM还保障了MOCVD工艺中昂贵化学资源的最高利用率，用来生产激光二极管。

华芯半导体科技有限公司总经理彭灵勇表示：“近年来AIX 2800 G4-TM平台已经确立了在VCSEL或光通讯激光器生产的领先地位。这将是我们首台AIXTRON MOCVD机台，我们非常期待受益于AIX 2800G4-TM提供的卓越器件性能，最佳外延片均匀性，和最大灵活性。”

“我们很荣幸能将AIX 2800G4-TM卓越的性能展现给华芯半导体。它是光子应用领域中大规模生产的理想解决方案。我们期待与华芯半导体的合作，并提供最大程度的支持来协助华芯半导体将已有的生产技术转移到我们的平台。”AIXTRON爱思强股份有限公司总裁Bernd Schulte博士说。