MO源及特气使用安全技术交流会在苏州成功召开

 

　　MO源（高纯金属有机化合物）和电子特气是现代化合物半导体产业的支撑原材料。安全生产事关半导体可持续发展的根本，安全生产管理水平的提高对维护国家安全、保持社会稳定，都具有重要意义。

 

　　4月26日-27日，由国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）、第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）牵头主办，国内唯一实现MO源研发和产业化的龙头企业江苏南大光电材料股份有限公司独家承办的“MO源及特气使用安全技术交流会“在苏州独墅湖世尊会议酒店成功召开。本次会议也得到了江苏省科技厅、苏州市科技局、苏州工业园区科技和信息化局以及天津滨海高新区高度重视。

会议现场

 

　　国家半导体照明工程研发及产业联盟常务副秘书长阮军，第三代半导体产业技术创新战略联盟秘书长于坤山，江苏省科学技术厅社会发展与基础研究处处长周灵群，苏州市科技局农科与社会发展处处长孙强，苏州工业园区科技和信息化局科技管理处处长殷俊，天津市滨海新区安全监管局事故调查处处长仝聚和，天津滨海高新区安监局执法队大队长刘立福、江苏南大光电材料股份有限公司名誉董事长孙祥祯，江苏南大光电材料股份有限公司董事长冯剑松以及来自美国、台湾、国内行业知名专家、技术大咖、安全生产监管部门领导、标准制定部门、科研院所及LED知名企业代表前来参会。会议由江苏南大光电材料股份有限公司特气事业部总经理王陆平主持。

 

国家半导体照明工程研发及产业联盟常务副秘书长 阮军 致辞

 

　　国家半导体照明工程研发及产业联盟常务副秘书长阮军在致辞中指出，半导体照明行业历经十六年的发展，产业规模从最初几亿元发展到2018年整体产值7500亿元。我们在座很多人也都见证了产业“从无到有，从小到大”的繁荣与发展，当然产业也面临很多问题需要我们积极的探索。虽然我国经过十多年的努力成为了全球最大的半导体照明生产、消费和出口国。但在安全使用MO源和特气等危化品方面的确还存在一些问题，尤其是近期行业内发生的多起事故也警示政府及产业相关企业予以重视。

 

　　对于未来产业发展，阮军秘书长对企业发展提出‘八个需要’，即需要定力、需要创新、需要拓展、需要品牌、需要担当、需要人才、需要模式创新、需要抓住’风口’，鼓励企业要耐得住寂寞，脚踏实地做创新研发，基于自身条件积极延伸拓展，做大做强自有品牌，积极承担社会责任，参与国家产业强国建设及国际分工竞争，抓住国家战略政策布局及产业发展风口，实现企业及产业健康发展。

 

江苏省科学技术厅社会发展与基础研究处处长 周灵群 致辞

 

　　江苏省科学技术厅社会发展与基础研究处处长周灵群表示，江苏省科技创新工作近几年一直走在全国前列，机制化地优化创新资源配置，体制化地组织产业技术创新活动，结构性地调整科技管理工作格局，科技创新体系初步建成；紧紧围绕建设高水平创新型省份的目标定位，大力实施“一深化四提升”专项行动，加大工作推进力度，加快改革探索步伐，全省全社会研发投入占地区生产总值比重达2.64%（新口径），高新技术产业产值占规模以上工业产值比重达43.8%，科技进步贡献率达63%，科技创新主要产出指标实现较大幅度跃升。我省在改善地方科研基础条件、优化科技创新环境等方面成效突出区域创新能力继续保持全国前列。

 

　　此次专业安全技术交流会的召开恰逢其时，最近省里连续召开安全生产专项会议，半导体、生物技术研发等方方面面聚焦安全生产，也是非常值得我们关注的，感谢南大光电在行业和领域发挥积极的作用，希望继续和相关单位和企业开展合作，为江苏半导体产业健康发展做出更大贡献。

 

　　天津市滨海新区安全监管局事故调查处处长仝聚和表示，受主管部门特派参加此次会议非常高兴。天津也有多家半导体相关生产制造企业，日常检查过程中发现企业特别对MO源及特气在生产、运输、储存及使用过程中认识不足，知识储备不够，希望通过此次学习弥补知识短板为企业健康发展提供帮助。

 

江苏南大光电材料股份有限公司董事长 冯剑松 致辞

 

　　江苏南大光电材料股份有限公司董事长冯剑松致辞时表示，半导体行业是国家实现中国梦的一个支柱产业，产业的持续发展的底线就是安全。这几年全国各地比先赶超发展半导体产业，但同时关键技术尤其是人才匮乏、安全管理滞后等相关问题非常突出，近期大陆、台湾等地知名企业发生的安全事故，再次提醒半导体企业必须解决好企业最根本的安全绿色发展问题。

 

　　作为半导体行业重要一员，南大光电期待在主管部门的领导下，通过国内外专家和客户的合作，围绕安全绿色发展真正做一些实事。坚持安中求进，实施精细生产，通过精细化的采购、智能生产、品质管理、技术革新为用户提供可靠产品；坚持绿色创新发展，实现从产品制造到做好服务的转变，推行营销工程师制度，为客户建立起从产品、技术到服务的全套解决方案；坚持协同创新，与MO源、电子特气设备供应商和用户一起创新我们的产品、技术和服务，与客户一起成功；坚持增进交流，积极举办技术交流活动与主管部门、行业组织和用户单位切磋技术，分享经验，共同进步。

  

　　主题报告环节，第三代半导体产业技术创新战略联盟秘书长于坤山、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所刘建平研究员、CeeVeeTech总裁Egbert Woelk教授、江苏南大光电材料股份有限公司MO源事业部总经理陈化冰、中微半导体设备有限公司产品安全副总监王治平、邱唯力世伟洛克(上海)流体系统科技有限公司销售及市场部总监邱唯力、江苏南大光电材料股份有限公司客户服务部经理徐涛、苏州晶湛半导体有限公司张丽旸博士、江西兆驰半导体有限公司总经理武良文、江苏南大光电材料股份有限公司特气事业部总经理王陆平等先后从半导体照明及第三代半导体材料发展现状及趋势，GaN基激光器MOCVD生长C杂质问题、MO源安全制造及其使用、MO源安全与降低成本一体两面的解决方案、MOCVD设备MO源及特气安全规范、MO源钢瓶验收标准及操作规范、流体系统泄露常见原因分析及安全操作规范、MO源在宽禁带半导体中应用、MO源材料的选择对LED芯片性能的影响、特种电子气体的安全运行管理注意事项等主题报告。

 

　　最后，被誉为“中国的MO源之父”、江苏南大光电材料股份有限公司名誉董事长孙祥祯教授作了总结发言。他表示，半导体产业要发展好，安全生产问题的研讨我们也要走在世界的前列，这是我们的责任和任务。国内LED产业和MOCVD外延已走在世界的前列，我们不仅量大，而且从初级基础生产已经向高端高质量发展迈进。因此我们要不断深入探讨研究行业安全问题，杜绝安全事故的隐患，主动防范，为行业及企业安全生产健康发展贡献智慧。

 

　　会议期间，参会企业代表与到会的知名专家和报告嘉宾形成了良好的沟通，对MO源及特气安全使用有了更深一步的认识，也为日后企业实际安全生产提供了经验参考。会后，安排参会代表实地参观考察了南大光电二期工厂，通过实地参观演示讲解进一步加深了对MO源及特气生产、储存、运输和使用过程的认知。

实地参观考察南大光电