宽带隙半导体由于其大的带隙能量，高的电子饱和速度，优异的辐射硬度和耐高温性，最近在紫外线（UV）光电探测器应用中引起了广泛的关注。这样的光电探测器具有各种潜在的应用，包括火焰探测，环境监测，化学/生物制剂探测和太阳物理学。
近日，由深圳市龙华区科技创新局特别支持，国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）、第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）主办，深圳第三代半导体研究院与北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司共同承办的第十六届中国国际半导体照明论坛（SSLCHINA 2019）暨2019国际第三代半导体论坛（IFWS 2019）在深圳会展中心召开。
期间，山西中科潞安紫外光电科技有限公司与中微半导体设备（上海）股份有限公司协办的“固态紫外器件技术”分会如期召开。分会重点关注以氮化铝镓、氮化镓为代表的紫外发光材料，以碳化硅、氮化镓为代表的紫外探测材料，高效量子结构设计及外延，以及发光二极管、激光器、光电探测器等核心器件的关键制备技术。
会上，南京大学教授陆海介绍了宽禁带半导体紫外探测器的技术及应用发展。紫外探测器的关键应用领域以及基于WBG的光电探测器的最新进展：1）Ⅲ族氮化物基紫外光电探测器；2）碳化硅单光子计数紫外光电倍增管。
紫外探测器的市场规模
在全球光电传感器市场中：紫外传感器的市场份额虽然较可见光和红外探测器的市场份额要小，但预计到2021年市场总额也达到27.4亿美元，年增长率超过19%；基于紫外传感器的应用产品市场要庞大很多，遍布在工业、环境、食品、电力和医药卫生各个领域，市场规模超过200亿美金。
应用1：日照紫外线指数监控
应用2：紫外消毒辐射剂量测量
应用3：紫外固化过程工艺监控
紫外固化工艺在半导体芯片制程、现代化工、涂料和印刷行业具有举足轻重的地位，已经触及到普通人生活的各个层面，产业规模庞大。由于紫外固化过程必须保证精准，紫外辐射强度的在线监测已经成为产业发展趋势。
应用4：紫外火灾报警器应用
目前，传统紫外火灾报警器所用中的感光元件是真空紫外光敏管，综合成本高，且有体积重量限制。随着近年来半导体紫外探测器性能的不断提高，特别是高增益紫外雪崩光电探测器以及成像阵列的出现，半导体紫外传感器有望进军紫外火灾报警器这一庞大市场。
应用5：高灵敏度紫外相机
SiC是间接带隙半导体，不能做发光器件，但仍适合做光探测器件，得益于SiC功率电子器件的产业化投入，SiC衬底和器件工艺技术日益成熟。未来主流6英寸，外延和工艺技术成熟。不同的应用对紫外探测器的性能和工作模式有不同的要求。面向“较低-很强”紫外辐射应用的探测器。
