河北同光晶体有限公司成立于2012年5月28日,公司位于河北省保定市高新区。同光碳化硅单晶项目总投资10亿元人民币,占地92亩,建筑面积13万平方米,已购置单晶生长炉170台,很快将同址扩至300台。检测仪器设备20台套,切磨抛工艺设备13台。目前,公司研发产品涵盖直径4—6英寸导电型和高纯半绝缘型碳化硅单晶衬底片。高纯半绝缘型碳化硅单晶在纯度方面,能够将杂质含量稳定控制在0.01ppm以下。
考察之后,唐景庭主任表示,目前国内材料企业生产环节中切、磨、抛设备几乎均从国外进口。检测设备,包括晶片缺陷检测系统、高分辨X射线衍射仪、拉曼光谱仪、平整度仪、超景深显微镜、原子力显微镜、高电阻率测试仪、低电阻率测试仪等也均从国外进口。联盟装备委员会未来的主要任务就是推动以材料、工艺带动国产装备发展,进而实现第三代半导体产业技术的全面突破。此次调研收获很大,以后将陆续组团对装备委员会的成员进行考察调研,逐步提出装备发展的路线图。他还表示,中国电科第十三研究所SiC衬底需求量约占全国的30%,以后需求将呈爆发式增长。考虑到同光晶体技术的先进性、产能的可保证性和同在河北省带来的各种便利等优势条件,按照以市场换解决关键设备短板进而促进产业良性发展的原则,十三所拟自2020年1月起,逐步采购使用同光SiC衬底片。