期间,由山西中科潞安紫外光电科技有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司共同协办的“固态紫外器件技术分会”上,北京大学康俊杰分享了面向消毒应用的超高功率深紫外光源的研究进展。报告从高质量AlGaN材料生长和深紫外芯片制备,陶瓷基板和超高功率集成光源及消毒应用等角度详细分享了相关技术进展。
报告指出,采用NPSS和退火平片衬底生长AlN模板,其材料质量非常优越。采用中微半导体设备(上海)有限公司高温MOCVD设备生长的深紫外LED外延片具有良好的均匀性和一致性。开发出可进行超高功率集成封装用的陶瓷基板。依托目前所掌握的技术,开发出能应用于杀菌消毒的超高功率集成光源,效果明显。
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