据介绍，中微惠创是中微公司旗下的全资子公司，于2014年12月在上海临港注册成立，主要致力于泛半导体领域环保、新能源等领域的产品研发、生产和销售。依托公司在泛半导体设备制造领域的技术积累，中微惠创将为德国DAS公司尾气处理设备提供本地化生产服务。德国DAS公司是一家总部位于德国德累斯顿的环境技术公司，专业从事高科技生产中富有挑战性的废气治理以及工业与生活废水的处理，在本次战略合作中将主要负责产品的销售和售后服务，未来双方将在本土产品开发方面进行更深层次的合作。
谈及本次合作，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示：“中微惠创是中微公司外延性发展战略的一部分，在开发VOC和废气处理设备等新业务拓展领域取得了积极的进展。德国DAS公司在废气、废水处理设备领域是国际领先企业，有着深厚的技术基础，我们很高兴与德国DAS公司展开合作。在高科技领域，这种与行业前沿公司的跨国合作将是互利共赢的。作为中国本土泛半导体设备制造的领先企业，中微惠创将与德国DAS公司实现优势互补、资源共享、并肩同行、发展互促，充分发挥双方在资源、技术和市场方面的优势，共同致力于为客户提供卓越的产品和服务。”
德国DAS公司首席执行官René Reichardt表示：“中微惠创作为国内领先的泛半导体设备制造商，是我们在中国首选的技术制造合作伙伴。德国DAS和中微惠创的战略合作具有重大意义，双方的资源整合和优势互补将能更好地服务于我们的客户，为加速环保科技产业的发展做出更大贡献。”
