Micro LED关键的巨量转移技术对外延技术的波长均匀性和缺陷密度提出了更严格的要求,而MOCVD作为外延技术的核心设备,也需要不断创新以满足Micro LED规模化量产的需求。
据介绍,爱思强一直致力于研发助力Micro LED量产的MOCVD设备,其AIX G5+C系统结合UV高温测量法,在外延制程中对薄膜表面温度进行晶圆级控制(基于自动加载技术),从而精准控制铟与多量子阱(MQW)的融合,而这个环节最终决定了波长的均匀性。
爱思强表示,C2C自动卡匣晶圆传输技术和炉内原位清洁技术可确保操作过程或外延制程中无颗粒污染薄膜,提高产量的同时保证外延片的颗粒密度。此外,爱思强MOCVD系统在波长均匀性保持在4nm范围内的前提下,将缺陷密度低控制在0.10 #/cm2,大幅提高了外延技术的良率。
2020年,由于Micro LED等高端市场需求不断增长,爱思强全年业绩符合预期,实现营收2.69亿元,同比微增4%;毛利为1.08亿元,同比大致持平;自由现金流为1400万欧元,同比下降60%。
全年新增订单3.014亿欧元,同比增长30%,其中,第四季度表现尤为突出,新增订单金额达9220万欧元,环比增长30%,创下2011年以来单季新高记录。
从区域来看MOCVD的销售额,亚洲地区占比达73%,同比增长了5%;欧洲和美洲地区的销售额占比分别为15%和12%,而去年同期占比均为16%。
展望2021财年,爱思强预计新增订单、营收和收益都将显著增长,新增订单总额预估为3.4-3.8亿欧元;毛利率预计约为40%。
据了解,近两年来,錼创和康佳先后采购了爱思强的AIX G5+C等设备,用于加速Micro LED的开发和生产工作,目前爱思强的订单量呈现不断增长的趋势。