公司发行的对象为不超过35名符合中国证监会规定条件的特定对象，本次非公开发行股票数量不超过1亿股(含本数)，该发行数量上限不超过截至目前公司总股本的20.14%。
关于募资的用途，北方华创表示，募集资金总额不超过85亿元，布局新技术并拓产扩能。其中，34.83亿元投向半导体装备产业化基地扩产项目(四期)，24.14亿元投向高端半导体装备研发项目，7.34亿元投向高精密电子元器件产业化基地扩产项目(三期)，18.68亿元补充流动资金。
公司表示，本次定增募资目的在于积极布局新技术，提升公司集成电路设备技术水平;应对未来市场需求的增加，进一步提升产业化能力;增强核心竞争力，进一步实现公司战略目标;发挥资本的作用，加速公司规模化发展的步伐。
其中，总投资31.36亿元的高端半导体装备研发项目，建设内容将包括改造研发实验室，购置研发用设备及软件，开展下一代高端半导体装备产品技术的研发，具体包括先进逻辑核心工艺设备、先进存储核心工艺设备、先进封装核心工艺设备、新兴半导体核心工艺设备、Mini/MicroLED核心工艺设备和先进光伏核心工艺设备等。
总投资38.16亿元的半导体装备产业化基地扩产项目(四期)，其设计产能为年产集成电路设备500台、新兴半导体设备500台、LED设备300台、光伏设备700台的生产能力。北方华创表示，该项目建成后将成为公司最大的装备生产制造基地，与公司总部基地形成研发与生产、装备与核心零部件的双向协同，进一步提高生产规模和产品产能。
