其主要客户只有三家，分别是台积电、Intel和三星。供不应求使得EUV光刻机也成为三家厂商争夺的焦点，不过Intel的7nm工艺要到2022年，所以现在有EUV生产线的主要是台积电、三星两家。
然而台积电的EUV光刻机数量遥遥领先，据统计，ASML近年来一共量产了100台左右的EUV光刻机，其中供应给台积电的就有70台，占了绝大多数份额。
2021年第一季度末，台积电的代工制造市场份额比2019年第一季度增加了8个百分点。达到56% ，超过了三星，其同一季度市场份额下降了1% 。但与台积电在EUV光刻机上的差距并非资本投资决定的，而是台积电已经获得了包括苹果和AMD在内的主要美国客户。
另外，三星也由于其他一些原因遭受了挫折，比如它在德克萨斯州的工厂因为恶劣的天气条件而暂时关闭，以及美国公司似乎由于台美关系而偏爱台积电。据报道，一些需要半导体代工厂的美国无厂商越来越不愿意与三星签署长期协议，因为韩国与中国和美国都保持着双向外交，因此供应链受到政治事件干扰的风险更大。
为此台积电无疑会利用这一优势进一步扩大它与竞争对手之间的技术差距。与此同时，台积电希望在2023年前投入1000亿美元，以解决半导体短缺问题，而三星正试图通过加快建设P3工厂来解决这一问题。
