主要成果有：一是用于晶片清洗、蚀刻的超高纯度氟化氢保持了世界最高品质的同时消除了对日依赖。以2019年1-5月为基准，氟化氢对日进口额达2840万美元，今年同期减少83.6%，进口额为460万美元；二是极紫外线曝光工程用光刻胶引来美国和日本投资，并扩大了从比利时进口的比重。今年1-5月从日本进口比重为85.2%，比两年前下降6.7个百分点，从比利时进口比重为9.8%，比两年前上升9.4个百分点；三是氟化聚酰亚胺在保证自产技术的同时，实现了向中国出口。
在此期间，科技通信部共发表了2171篇相关SCI论文，专利申请1570件，专利注册466件，相关企业直接和间接销售额达327亿韩元，投资金额达726亿韩元，技术转让164件，技术费用为100亿韩元，培养相关人才7541人，企业扶持服务36403件，其中试验评价和认证18194件，消除技术障碍18209件。但也有人指出，认为完全取代对日依赖还为时尚早。
