8月24日，国产刻蚀设备龙头中微公司发布了2021年半年报，报告期内，公司实现营收13.39亿元，同比增长36.82%；实现归母净利润3.97亿元，同比增加233.17%，若剔除股份支付费用后，公司扣非归母净利润为2.06亿元，同比增长413.40%。
分季度看，公司第二季度公司实现营收7.35亿元，同比增长29.95%。归母净利润为2.59亿元，创单季度历史新高，同比增长178.87%。第二季度毛利率为43.50%，同比提升9.54个百分点，净利率为35.20%，同比提升18.79个百分点。
在全球半导体制造商持续扩产，以满足芯片需求的大背景下，半导体设备市场需求旺盛。今年上半年，中微公司的刻蚀设备收入为8.58亿元，较去年同期增长约83.8%。
与之相比，中微公司另一主营产—MOCVD设备上半年实现收入2.19亿元，较去年同期下降约10.08%，并且该业务收入在2018年达到峰值后，2019和2020年分别同比下滑9%和34%，连续两年下跌。
LED产业是MOCVD设备最大的市场，2021年又普遍被认为是Mini-LED商用元年，该产品或将带动公司MOCVD产品收入回暖。中微公司亦半年报中透露，上半年新签订单金额达18.89亿元，同比增长超过70%，且有部分Mini-LED MOCVD设备规模订单已进入最后签署阶段。
晶圆厂扩产潮下刻蚀设备收入稳步增长
报告期内，中微公司专用设备产品实现营收10.77亿元，同比增长51.62%，实现毛利率为41.54%，同比增加8.76个百分点，其中微公司刻蚀设备收入占比达到79.67%。
中微公司的刻蚀设备主要包括CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机，设备可以应用到65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。
今年上半年，中微公司CCP刻蚀设备中的PrimoAD-RIE、PrimoSSCADRIE等产品已批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线，在部分客户市场占有率已进入前三位。
在先进逻辑电路方面，中微公司持续升级硬件性能，取得5纳米及以下逻辑电路产线的重复订单；在存储电路方面，公司的刻蚀设备在64层及128层3DNAND的生产线得到广泛应用。随着3DNAND芯片制造厂产能的迅速爬升，该等产品的重复订单稳步增长。
中微公司还透露正在布局动态存储器的应用，并开始工艺开发及验证。另外在新产品发布方面，中微公司于今年6月15日推出首台用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备PrimoAD-RIE200，其可满足客户生产线未来可能扩产的需求。
而在ICP刻蚀方面，中微公司的Primonanova刻蚀设备产品在10家客户的生产线上进行验证。在研产品中则包括用于存储器芯片制造的ICP刻蚀机、7-5nmICP刻蚀机项目以及用于5-3纳米逻辑芯片制造的ICP刻蚀机。
中信证券近期在其研报中称，中微公司的刻蚀设备在存储厂及晶圆代工厂份额持续提升，目前在长江存储/华力集成招标中设备数占比14.2%/17%，设备数国内第一。
伴随着当前晶圆厂资本开支的持续扩张，对设备需求将显著上升，半导体设备国产化进程有望进一步提速。
今年6月，中微公司收到向特定对象发行股票的募集资金净额约81.25亿元，公司拟定增募资扩充刻蚀设备产能630腔/年，2026年达产后产能将较2021年提升6倍，中信证券称，公司未来有望持续受益国内晶圆厂扩产+国产化趋势。
部分Mini-LED MOCVD设备订单正在执行
中微公司的MOCVD设备此前主要聚焦蓝光LED领域，用于生产氮化镓基LED的外延片。
不过在报告期内，公司MOCVD设备实现收入2.19亿元，较去年同期下降约10.08%，公司称，主要由于下游市场原因。
结合公司2019年、2020年MOCVD设备收入均同比下滑的情况。《科创板日报》记者了解到，2019年受中美贸易争端影响，LED芯片市场供过于求导致LED芯片的市场价格大幅下滑，另外受全球新冠疫情影响，2020年LED需求有所萎缩。但从2020年下半年开始，下游显示应用快速回暖复苏，LED显示、照明市场快速回暖，其中2020年Q4开始Mini-LED的需求开始逐渐成长，推动LED行业进一步发展。
中微公司董秘刘晓宇在今年7月科创板开市两周年峰会期间提到，现在已经有非常多终端厂商使用Mini-LED产品，“在原来的LED领域，大家谈得比较多的LED电视，可能只需要几十颗到几百颗量级，而现在现在4K、8K电视，可能就需要几千颗到几万颗量级，这对整个LED颗粒需求量是呈现爆发式成长，而这些应用领域对设备端提出非常高的要求，尤其是在产品的重复性、稳定性，可靠性等维度”。
今年6月，中微公司发布了专为高性能Mini-LED量产而设计的PrismoUniMaxMOCVD设备，刘晓宇称，公司的新产品很好解决了产品良率提升的问题，另外该产品在技术也进行了非常多的创新。半年报显示，该设备的加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。
中微公司透露，2021年上半年新签订单金额达18.89亿元，同比增长超过70%，且有部分Mini-LED MOCVD设备规模订单已进入最后签署阶段。
另外在其他财务数据方面，报告期内，公司研发费用支出投入总额为2.86亿元，其中包含股份支付费用5504.32万元。若剔除股份支付费用的影响，2021年上半年研发投入总额为2.3亿元，较去年同期增长11.5%。
