近日，第七届国际第三代半导体论坛暨第十八届中国国际半导体照明论坛（IFWS & SSLCHINA 2021）在深圳会展中心举行。本届论坛由第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）、国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）联合主办，北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司与半导体产业网共同承办。
期间，由广东中民工业技术创新研究院有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、佛山市国星光电股份有限公司、北京康美特科技股份有限公司协办支持的“Mini/Micro-LED技术“分会如期举行。
Micro LED指的是在一个芯片上集成的高密度微小尺寸的 LED 阵列，像素尺寸一般小于100 μm。Micro LED的在广告、新闻发布、体育比赛、文化娱乐、军事安防等有重要作用。显示器已经在传统消费品如：手机、平板、笔记本、电视、车载系统中被广泛应用，而广告、新闻发布、体育比赛、文化娱乐、军事安防等领域对显示器的应用也非常常见。目前显示器的种类为LCD,LED和OLED，但他们都无法满足无限拼接的要求，mini LED和micro led不仅克服了已有显示器的缺点，同时能够实现无限拼接的功能，成为未来显示器发展的主要方向。
会上，天津工业大学张以凯带来了题为“Micro-LED芯片转移关键技术研究”的主题报告，从运输平台设计、基于单相机的高精度定位系统、基于微夹持器的单个Micro LED转移系统等方面详细分享了最新研究成果。研制出Micro LED转移平台并完成快速高精度Micro LED转移、进一步优化设计Micro LED芯片运输平台、开展仿生触觉传感器用的Micro LED高精度转移技术研究。
会上，天津工业大学张以凯带来了题为“Micro-LED芯片转移关键技术研究”的主题报告，从运输平台设计、基于单相机的高精度定位系统、基于微夹持器的单个Micro LED转移系统等方面详细分享了最新研究成果。研制出Micro LED转移平台并完成快速高精度Micro LED转移、进一步优化设计Micro LED芯片运输平台、开展仿生触觉传感器用的Micro LED高精度转移技术研究。
为了提高巨量转移效率，我们设计了如图所示的一台巨量转移设备转移原理：PCB运输平台与芯片运输平台各自运动到指定位置，利用相机扫描确定芯片和pcb引脚的绝对位置，当位置确定以后，进行巨量转移。其中，需要相机，控制系统，数据传输系统，气源回路等辅助设备。芯片运输平台主要包括：电机、气缸、真空吸盘、固定装置和其他一些辅助设置，电机用来对芯片角度进行微小调整，固定装置用来固定气缸和其他辅助设备，真空吸嘴用来吸取芯片并将其固定在一个相对位置。在进行巨量转移过程中，真空吸盘需要始终保持真空，因此，芯片可能会有较大变形。
其中的芯片运输平台是芯片蓝膜不变变形的重要保证，因此，建立了芯片运输平台的三维模型，利用力学公式建立了动力学模型，对平台的受力变形进行详细的分析。
采用基于单相机的高精度定位，对uED芯片图片分别进行图像预处理，图像分割，特征识别，目标定位等操作，得到了微米级别的水平位置信息。为了能够精确的控制Micro LED释放的位置，采用基于单相机的高精度定位系统，通过单相机实时拍摄Micro LED图像，并根据图像处理的结果得到Micro LED的三维位置信息。该方法采用高精密位移台进行了标定，评估了μLED的不确定因素，如相机畸变、相机倾斜、曲线拟合和表面粗糙度等。结果表明，深度位置的相对标准不确定度约为3.9%。为后续高精度Micro LED转移提供了基础。
总结，报告介绍了搭建Micro LED转移平台并完成快速高精度Micro LED转移，芯片运输平台还需诸多优化环节，是后期努力的主要方向。系统用于仿生触觉传感器的Micro LED高精度转移以及巨量转移修复。
总结，报告介绍了搭建Micro LED转移平台并完成快速高精度Micro LED转移，芯片运输平台还需诸多优化环节，是后期努力的主要方向。系统用于仿生触觉传感器的Micro LED高精度转移以及巨量转移修复。
（内容根据现场资料整理，如有出入敬请谅解）
