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复旦大学袁泽兴:通过调整量子阱数量提高Micro-LED的外量子效率

放大字体  缩小字体 发布日期:2021-12-15 来源:中国半导体照明网浏览次数:764
近日,第七届国际第三代半导体论坛暨第十八届中国国际半导体照明论坛(IFWS & SSLCHINA 2021)在深圳会展中心举行。本届论坛由第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)、国家半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)联合主办,北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司与半导体产业网共同承办。
 
期间,由广东中民工业技术创新研究院有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、佛山市国星光电股份有限公司、北京康美特科技股份有限公司协办支持的“Mini/Micro-LED技术“分会如期举行。
 袁泽兴
会上,复旦大学袁泽兴做了题为“通过调整量子阱数量提高Micro-LED 的外量子效率”的主题报告,与LCD和OLED相比,GaN基Micro-LED显示器具有低功耗、高亮度和卓越的可靠性等特点,被认为是下一代显示技术。然而,Micro-LED 的低外量子效率 (EQE) 仍然是制造高效Micro-LED 显示器的一个问题。已经有一些研究来解决这个问题,例如减少量子势垒的厚度、使用选择性过度生长技术和钝化侧壁缺陷,但该问题仍有待进一步解决。
 
研究提出了一种通过改变量子阱(QW)数量来提高Micro-LED的EQE的方法。在这项工作中,分别通过MOCVD生长了具有3、6 和10对不同量子阱 (QW) 数的绿色外延晶片。并基于这些外延片制作了直径为80μm的绿色微型LED并进行了测量。
 
HR-XRD结果表明外延材料的质量随着QW数的增加而逐渐提高。与EQE分别为1.1% 和1.73%的3对和6对QW相比,10对的EQE在1 A/cm2  时达到 7.4%。随着QW数量的增加,峰值波长在1 A/cm2 处显示蓝移,随着电流密度的增加,蓝移逐渐减小。预计这项工作将提供一种方法来优化用于显示技术的绿色微型LED的量子效率。





 
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)
 
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