会上，中微半导体设备（上海）股份有限公司MOCVD工艺技术总监胡建正分享了“中微Prismo UniMax® - 用于蓝绿光mini-LED生产的MOCVD新型装备”最新进展。
胡建正介绍，Mini/micro-LEDs在高端显示应用方面具有高对比度、高动态范围、轻薄、低能耗等优点，近年来正受到越来越多的关注。中微公司开发的 Prismo 系列MOCVD设备可广泛应用于生产基于III族氮化物的各类器件，包括蓝绿光LED、深紫外LED以及功率器件。与用于照明的传统LED相比，mini/micro-LED对外延片的波长均匀性和颗粒数量有更严苛的要求。需要开发新型MOCVD平台以提高外延片的波长均匀性、降低颗粒数量，从而实现mini/micro-LED的商业化应用。
目前，中微最新开发的可用于mini-LED生产的MOCVD 平台 - Prismo UniMax®, 通过局部温场精细调控与流场的优化，在4”和6”衬底上生长的蓝绿光LED实现了极好的波长均匀性。在41×4” 配置条件下，得到了极好的蓝光LED片内和片间波长均匀性，分别为0.71 nm和0.87 nm（1σ）；在10×6” 配置条件下，其蓝光LED片内波长均匀性达到0.84 nm （1σ），100mm×100mm方片波长最大最小差值低至2.4 nm。对于平均波长为530nm的6寸绿光LED，实现了片内波长均匀性1.04 nm（1σ），100mm×100mm方片波长最大最小差值仅为4.6nm。此外，Prismo UniMax®在LED生产中，还可以实现优越的整体波长良率和炉与炉的重复性。同时，会上还讲解了更多细节设备及工艺细节。
