消息显示，卓程微半导体设备（昆山）有限公司，计划总投资3亿元，总用地30亩，总建筑面积约3.4万平方米，主要从事晶圆单片式清洗机、全自动槽式清洗机、尾气处理设备等产品的生产、研发，广泛应用于半导体前道制程、先进封装、MEMS、平板显示等领域。项目建成投产后，将显著增强企业在半导体相关领域的产品力和竞争力。
另据天眼查信息，卓程微半导体设备（昆山）有限公司，成立于2021年3月，注册资本为6000万人民币，法定代表人为杨仕品，经营范围包括一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体分立器件制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件销售等。
来源：全球半导体观察
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