长治高新区“深紫外LED量产型MOCVD装备研发项目”中榜山西省“揭榜挂帅”项目

 近日，省科技厅发布《2022年度山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目成功揭榜公告》，山西中科潞安紫外光电科技有限公司申报的“深紫外LED量产型金属有机化合物气相沉积（MOCVD）装备研发”项目成功中榜，揭榜单位包括中国科学院半导体研究所和长治学院。该项目将获得财政专项经费900万元。这是长治高新区深入实施创新驱动发展战略，积极开展前瞻性、引领性科学技术研究和关键共性技术攻关的又一重要成果。

该项目投资总经费3000万元，将研制出具有自主知识产权的量产型高温MOCVD装备，其硬件及材料、器件性能可达到国际领先水平。该项目的实施，将填补专用于深紫外LED量产型MOCVD装备（一次生长20片以上2英寸外延片）的世界空白，突破制约深紫外LED发展的最大瓶颈，有效支撑和延伸我省第三代半导体产业链，为全市经济高质量发展注入活力。