12月13日,德国沉积设备商爱思强宣布,其位于德国黑措根拉特(Herzogenrath)创新研发中心正式揭牌。
项目总投资1亿欧元(约合人民币7.6亿元),于2023年11月正式奠基建设。创新研发中心专为氮化镓和其他化合物半导体应用向12英寸晶圆发展而设计。
爱思强表示,研发中心具有1000㎡的洁净室,将为化合物半导体行业往12英寸晶圆发展奠定基础。
爱思强总裁兼首席执行官 Felix Grawert 博士表示,凭借创新中心新的洁净室,公司将进一步扩大在技术市场上的领先地位。目前,爱思强已经拥有了首批12英寸氮化镓原型设备,设备已被集成到多家客户的试验生产线中。